Vizualizace ionizačních center při naprašování pulzy velkého výkonu /
Tato bakalářská práce se věnuje vizualizaci ionizačních center, také označovaných jako nehomogenity plazmatu či spoky, při magnetronovém naprašování pulzy velkého výkonu. V práci je popsán základní princip několika metod naprašování tenkých vrstev a uvedení do problematiky spoků. Tyto spoky byly poz...
Uloženo v:
| Hlavní autor: | |
|---|---|
| Další autoři: | |
| Typ dokumentu: | VŠ práce nebo rukopis |
| Jazyk: | Čeština |
| Vydáno: |
2015
|
| Témata: | |
| On-line přístup: | http://is.muni.cz/th/408884/prif_b/ |
Pro rezervaci/výpůjčku fyzického dokumentu se přihlaste.
| Popis | Stav | Knihovna | Sbírka | Signatura | Poznámky | Čárový kód |
|---|---|---|---|---|---|---|
|
Dostupné Prezenční |
Přírodovědecká fakulta | ÚK volný výběr - F | K-F-2015-ŠLAP | 3145365287 |