Určení absolutní koncentrace částic při naprašování pulzy velkého výkonu /
Táto práca sa zaoberá štúdiom koncentrácie metastabilov argónu pri magnetrónovom naprašovaní. Na určovanie koncentrácie je používaná opticko-emisná spektroskopia a metóda efektívnych vetviacich pomerov. Pre prípad DC magnetrónového naprašovania je určená závislosť na tlaku a výkone, v prípade HiPIMS...
Uloženo v:
| Hlavní autor: | |
|---|---|
| Další autoři: | |
| Typ dokumentu: | VŠ práce nebo rukopis |
| Jazyk: | Slovenština |
| Vydáno: |
2017
|
| Témata: | |
| On-line přístup: | http://is.muni.cz/th/424096/prif_b/ |
Pro rezervaci/výpůjčku fyzického dokumentu se přihlaste.
| Popis | Stav | Knihovna | Sbírka | Signatura | Poznámky | Čárový kód |
|---|---|---|---|---|---|---|
|
Dostupné Prezenční |
Přírodovědecká fakulta | ÚK volný výběr - F | K-F-2017-ŽULT | 3145370741 |