Příprava nanostrukturovaných tenkých vrstev magnetronovým naprašováním buzeným pulzy velkého výkonu /
Táto bakalárska práca sa venuje štúdiu magnetrónového naprašovania budeného pulzmi veľkého výkonu v porovnaní s procesom jednosmerného magnetrónového naprašovania. Objektom skúmania tejto práce sú deponované tenké nanokompozitné vrstvy typu TiC/C. Prvá kapitola predstavuje teoretické základy fyzikál...
Saved in:
| Main Author: | |
|---|---|
| Other Authors: | |
| Format: | Thesis Manuscript |
| Language: | Slovak |
| Published: |
2015
|
| Subjects: | |
| Online Access: | http://is.muni.cz/th/408765/prif_b/ |
For reservations/loans of the physical document, please log in.
| Description | Status | Library | Collection | Call Number | Notes | Barcode |
|---|---|---|---|---|---|---|
|
Available In house loan |
Faculty of Science | ÚK volný výběr - F | K-F-2015-BERN | 3145365089 |