Příprava nanostrukturovaných tenkých vrstev magnetronovým naprašováním buzeným pulzy velkého výkonu /

Táto bakalárska práca sa venuje štúdiu magnetrónového naprašovania budeného pulzmi veľkého výkonu v porovnaní s procesom jednosmerného magnetrónového naprašovania. Objektom skúmania tejto práce sú deponované tenké nanokompozitné vrstvy typu TiC/C. Prvá kapitola predstavuje teoretické základy fyzikál...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Main Author: Bernátová, Katarína (Dissertant)
Other Authors: Vašina, Petr, 1979- (Thesis advisor)
Format: Thesis Manuscript
Language:Slovak
Published: 2015
Subjects:
Online Access:http://is.muni.cz/th/408765/prif_b/
Cover Image
For reservations/loans of the physical document, please log in.
Description Status Library Collection Call Number Notes Barcode
Available
In house loan
Faculty of Science ÚK volný výběr - F K-F-2015-BERN 3145365089