Vizualizace ionizačních center při naprašování pulzy velkého výkonu /
Tato bakalářská práce se věnuje vizualizaci ionizačních center, také označovaných jako nehomogenity plazmatu či spoky, při magnetronovém naprašování pulzy velkého výkonu. V práci je popsán základní princip několika metod naprašování tenkých vrstev a uvedení do problematiky spoků. Tyto spoky byly poz...
Uloženo v:
| Hlavní autor: | |
|---|---|
| Další autoři: | |
| Typ dokumentu: | VŠ práce nebo rukopis |
| Jazyk: | Čeština |
| Vydáno: |
2015
|
| Témata: | |
| On-line přístup: | http://is.muni.cz/th/408884/prif_b/ |
| Shrnutí: | Tato bakalářská práce se věnuje vizualizaci ionizačních center, také označovaných jako nehomogenity plazmatu či spoky, při magnetronovém naprašování pulzy velkého výkonu. V práci je popsán základní princip několika metod naprašování tenkých vrstev a uvedení do problematiky spoků. Tyto spoky byly pozorovány pomocí rychlé kamery. Byla navrhnuta metodika zpracování vyfotografovaných snímků, pomocí které byl zjištěn jak počet spoků, tak jejich rychlost. Dále byl zkoumán vliv magnetického pole na počet a rychlost spoků. This thesis was dedicated to the visualization of the ionization center (spokes) during high power pulse magnetron sputtering. In this thesis the basic principle of several methods of sputtering thin films is described. Spokes were studied using fast camera. Methodology of processing of the images was designed. By this methodology the number and speed of spokes was determined. The influence of the magnetic field on the number and speed of spokes was studied. |
|---|---|
| Popis jednotky: | Vedoucí práce: Jaroslav Hnilica |
| Fyzický popis: | 40 listů |