Depozice tenkých vrstev ve výbojích za atmosférického tlaku I.
V předložené práci studuji dielektrické bariérové výboje hořící za atmosférického tlaku a růst tenkých vrstev v těchto výbojích ze směsi organosilikonu (hexametyldisiloxan) s dusíkem a N2O. Zaměřil jsem se zejména na difúzní formy bariérových výbojů. Provedl jsem základní elektrickou diagnostiku výb...
Uloženo v:
| Hlavní autor: | |
|---|---|
| Další autoři: | |
| Typ dokumentu: | VŠ práce nebo rukopis |
| Jazyk: | Čeština |
| Vydáno: |
2008.
|
| Témata: | |
| On-line přístup: | http://is.muni.cz/th/175867/prif_b/ |
| LEADER | 04623ctm a22009257a 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | MUB01000554684 | ||
| 003 | CZ BrMU | ||
| 005 | 20080908112424.0 | ||
| 008 | 080703s2008 xr ||||| |||||||||||cze d | ||
| STA | |a POSLANO DO SKCR |b 2017-06-28 | ||
| 035 | |a (ISMU-VSKP)152374 | ||
| 040 | |a BOD114 |b cze |d BOD004 | ||
| 041 | 0 | |a cze |b eng | |
| 072 | 7 | |a 53 |x Fyzika |2 Konspekt |9 6 | |
| 080 | |a 538.975 |2 MRF | ||
| 080 | |a 53 |2 MRF | ||
| 100 | 1 | |a Studnička, Filip |% UČO 175867 |* [absolvent PřírF MU] |4 dis | |
| 242 | 1 | 0 | |a Deposition of thin films in atmospheric pressure discharges I. |y eng |
| 245 | 1 | 0 | |a Depozice tenkých vrstev ve výbojích za atmosférického tlaku I. |h [rukopis] / |c Filip Studnička. |
| 260 | |c 2008. | ||
| 300 | |a 25 l. : |b il. | ||
| 500 | |a Vedoucí práce: David Trunec. | ||
| 502 | |a Bakalářská práce (Bc.)--Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakulta, 2008. | ||
| 520 | 2 | |a V předložené práci studuji dielektrické bariérové výboje hořící za atmosférického tlaku a růst tenkých vrstev v těchto výbojích ze směsi organosilikonu (hexametyldisiloxan) s dusíkem a N2O. Zaměřil jsem se zejména na difúzní formy bariérových výbojů. Provedl jsem základní elektrickou diagnostiku výbojového plazmatu a charakterizaci připravených vrstev pomocí dostupných metod (např. mikroskopie atomových sil AFM, hloubkově rozlišené indentační měření atd.). Studoval jsem vliv teploty a oxidační látky N2O na vlastnosti vrstev. |% cze | |
| 520 | 2 | 9 | |a In the present work I studied atmospheric pressure glow discharge and the deposition of thin organosilicon films in N2 + N2O atmosphere. I performed basic electric diagnosis of plasma and the deposited films were characterised by atomic force microscopy, depth sensing indentation, etc. I studied the effects of temperature and ammount of N2O on the film properties. |9 eng |
| 650 | 0 | 7 | |a fyzika tenkých vrstev |7 ph134790 |2 czenas |
| 650 | 0 | 9 | |a physics of thin layers |2 eczenas |
| 650 | 0 | 9 | |a thin films |2 eczenas |
| 655 | 7 | |a bakalářské práce |7 fd132403 |2 czenas | |
| 658 | |a Fyzika |b Fyzika |c PřF B-FY FYZ (FYZ) |2 CZ-BrMU | ||
| 700 | 1 | |a Trunec, David, |d 1962- |7 ola2003200929 |% UČO 1597 |4 ths | |
| 710 | 2 | |a Masarykova univerzita. |b Přírodovědecká fakulta. |b Fyzikální sekce |7 kn20020321517 |4 dgg | |
| 856 | 4 | 1 | |u http://is.muni.cz/th/175867/prif_b/ |
| CAT | |c 20080703 |l MUB01 |h 0451 | ||
| CAT | |a ANTLOVA |b 02 |c 20080703 |l MUB01 |h 1635 | ||
| CAT | |a NOVAKOVA |b 02 |c 20080908 |l MUB01 |h 1124 | ||
| CAT | |c 20081009 |l MUB01 |h 1440 | ||
| CAT | |c 20081009 |l MUB01 |h 1535 | ||
| CAT | |a BATCH-UPD |b 02 |c 20091102 |l MUB01 |h 0649 | ||
| CAT | |a BATCH-UPD |b 02 |c 20091103 |l MUB01 |h 0150 | ||
| CAT | |c 20091203 |l MUB01 |h 0214 | ||
| CAT | |c 20091203 |l MUB01 |h 1856 | ||
| CAT | |a BATCH-UPD |b 00 |c 20091219 |l MUB01 |h 0757 | ||
| CAT | |c 20100428 |l MUB01 |h 1010 | ||
| CAT | |a BATCH-UPD |b 00 |c 20100501 |l MUB01 |h 1156 | ||
| CAT | |a BATCH-UPD |b 00 |c 20100929 |l MUB01 |h 0332 | ||
| CAT | |a HANAV |b 02 |c 20101109 |l MUB01 |h 2313 | ||
| CAT | |c 20110627 |l MUB01 |h 1913 | ||
| CAT | |c 20110627 |l MUB01 |h 2321 | ||
| CAT | |a batch |b 00 |c 20120324 |l MUB01 |h 0116 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20120510 |l MUB01 |h 0732 | ||
| CAT | |c 20120610 |l MUB01 |h 1927 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20120726 |l MUB01 |h 1015 | ||
| CAT | |a HANAV |b 02 |c 20121008 |l MUB01 |h 2219 | ||
| CAT | |a BATCH |b 00 |c 20130303 |l MUB01 |h 1014 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20130730 |l MUB01 |h 0745 | ||
| CAT | |c 20140127 |l MUB01 |h 1847 | ||
| CAT | |a HANAV |b 02 |c 20140829 |l MUB01 |h 1428 | ||
| CAT | |c 20150703 |l MUB01 |h 1047 | ||
| CAT | |c 20150901 |l MUB01 |h 1442 | ||
| CAT | |c 20150921 |l MUB01 |h 1403 | ||
| CAT | |a BATCH |b 00 |c 20151225 |l MUB01 |h 2337 | ||
| CAT | |c 20170628 |l MUB01 |h 1110 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20180826 |l MUB01 |h 1453 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20180826 |l MUB01 |h 1504 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20190109 |l MUB01 |h 1226 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20190129 |l MUB01 |h 0937 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20190129 |l MUB01 |h 0940 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20190129 |l MUB01 |h 0952 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20190227 |l MUB01 |h 0752 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20201030 |l MUB01 |h 0223 | ||
| CAT | |c 20210614 |l MUB01 |h 0933 | ||
| CAT | |c 20210614 |l MUB01 |h 1922 | ||
| CAT | |a BATCH |b 00 |c 20210724 |l MUB01 |h 1138 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20210819 |l MUB01 |h 1726 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20230808 |l MUB01 |h 2127 | ||
| LOW | |a POSLANO DO SKCR |b 2017-06-28 | ||
| 994 | - | 1 | |l MUB01 |l MUB01 |m VYSPR |1 PRIF |a Přírodovědecká fakulta |2 PRFSK |b ÚK sklad |3 K-10648 |5 3145342417 |8 20080703 |f 71 |f Prezenční SKLAD |q 20180424 |r 20080703 |s dar |
| AVA | |a SCI50 |b PRIF |c ÚK sklad |d K-10648 |e available |t K dispozici |f 1 |g 0 |h N |i 0 |j PRFSK | ||