Depozice tenkých vrstev ve výbojích za atmosférického tlaku I. - Studnička, Filip; Trunec, David, 1962-; Masarykova univerzita. Přírodovědecká fakulta. Fyzikální sekce (2008)
V předložené práci studuji dielektrické bariérové výboje hořící za atmosférického tlaku a růst tenkých vrstev v těchto výbojích ze směsi organosilikonu (hexametyldisiloxan) s dusíkem a N2O. Zaměřil jsem se zejména na difúzní formy bariérových výbojů. Provedl jsem základní elektrickou diagnostiku výbojového plazmatu a charakterizaci připravených vrstev pomocí dostupných metod (např. mikroskopie atomových sil AFM, hloubkově rozlišené indentační měření atd.). Studoval jsem vliv teploty a oxidační látky N2O na vlastnosti vrstev.
In the present work I studied atmospheric pressure glow discharge and the deposition of thin organosilicon films in N2 + N2O atmosphere. I performed basic electric diagnosis of plasma and the deposited films were characterised by atomic force microscopy, depth sensing indentation, etc. I studied the effects of temperature and ammount of N2O on the film properties.
Vedoucí práce: David Trunec.
Bakalářská práce (Bc.)--Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakulta, 2008.
Keywords: fyzika tenkých vrstev; physics of thin layers; thin films; bakalářské práce