Depozice dusíkem dopovaných organosilikonových tenkých vrstev pomocí plazmatu radiofrekvenčního doutnavého výboje /
Práce se zabývá přípravou a následnou analýzou tenkých vrstev. Organosilikonové vrstvy byly připraveny pomocí plazmatem asistované depozice z plynné fáze za použití kapacitně vázaného radiofrekvenčního výboje. Vrstvy se deponovaly v atmosféře složené z hexamethyldisiloxanu a dusíku. Po depozici byly...
Saved in:
| Main Author: | |
|---|---|
| Other Authors: | |
| Format: | Thesis Manuscript |
| Language: | Czech |
| Published: |
2018
|
| Subjects: | |
| Online Access: | http://is.muni.cz/th/enkmj/ |
For reservations/loans of the physical document, please log in.
| Description | Status | Library | Collection | Call Number | Notes | Barcode |
|---|---|---|---|---|---|---|
|
Available In house loan |
Faculty of Science | ÚK volný výběr - M | K-F-2018-PŘIB | 3145373087 |