Depozice dusíkem dopovaných organosilikonových tenkých vrstev pomocí plazmatu radiofrekvenčního doutnavého výboje - Přibyl, Roman (2018)
Práce se zabývá přípravou a následnou analýzou tenkých vrstev. Organosilikonové vrstvy byly připraveny pomocí plazmatem asistované depozice z plynné fáze za použití kapacitně vázaného radiofrekvenčního výboje. Vrstvy se deponovaly v atmosféře složené z hexamethyldisiloxanu a dusíku. Po depozici byly vrstvy vystaveny laboratorním podmínkám, při kterých byla studována jejich stabilita. Mechanická stabilita vrstev v laboratorních podmínkách byla studována pomocí mikroindentačních metod, které umožnily popsat změnu mechanických vlastností způsobených pronikáním vlhkosti do vrstev. Změny mechanických vlastností byly dále porovnávány s chemickými změnami ve vrstvách. V práci je diskutována souvislost mezi změnami mechanických vlastností a chemické struktury připravených tenkých vrstev.