Studium vlastností nereaktivního HiPIMS procesu za přítomnosti a absence pohybujících se ionizačních center /

Tato diplomová práce se zabývá studiem vlastností magnetronového naprašování v HiPIMS výboji při změně magnetického pole. Změna magnetického pole byla docílena použitím tří různě silných titanových terčů. Proces naprašování byl zkoumán pomocí ICCD kamery za přítomnosti a absence pohybujících se ioni...

Celý popis

Uloženo v:
Podrobná bibliografie
Hlavní autor: Šlapanská, Marta (Autor práce)
Další autoři: Hnilica, Jaroslav, 1983- (Vedoucí práce)
Typ dokumentu: VŠ práce nebo rukopis
Jazyk:Čeština
Vydáno: 2017
Témata:
fyzika plazmatu
fyzika tenkých vrstev
magnetické pole
magnetic fields
physics of thin layers
plasma physics
diplomové práce
master's theses
On-line přístup:http://is.muni.cz/th/408884/prif_m/
Obálka
LEADER 05294ctm a22007937i 4500
001 MUB01006396285
003 CZ BrMU
005 20170925085423.0
008 170630s2017 xr ||||| |||||||||||cze d
STA |a POSLANO DO SKCR  |b 2017-10-08 
035 |a (ISMU-VSKP)299087 
040 |a BOD114  |b cze  |d BOD004  |e rda 
072 7 |a 53  |x Fyzika  |2 Konspekt  |9 6 
080 |a 538.975  |2 MRF 
080 |a 533.9  |2 MRF 
080 |a 537.612  |2 MRF 
080 |a (043)378.2  |2 MRF 
100 1 |a Šlapanská, Marta  |% UČO 408884  |* [absolvent PřírF MU]  |4 dis 
242 1 0 |a Study of properties of non-reactive HiPIMS process in the presence and absence of travelling ionization zones  |y eng 
245 1 0 |a Studium vlastností nereaktivního HiPIMS procesu za přítomnosti a absence pohybujících se ionizačních center /  |c Marta Šlapanská 
264 0 |c 2017 
300 |a 55 listů 
336 |a text  |b txt  |2 rdacontent 
337 |a bez média  |b n  |2 rdamedia 
338 |a svazek  |b nc  |2 rdacarrier 
500 |a Vedoucí práce: Jaroslav Hnilica 
502 |a Diplomová práce (Mgr.)--Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakulta, 2017 
520 2 |a Tato diplomová práce se zabývá studiem vlastností magnetronového naprašování v HiPIMS výboji při změně magnetického pole. Změna magnetického pole byla docílena použitím tří různě silných titanových terčů. Proces naprašování byl zkoumán pomocí ICCD kamery za přítomnosti a absence pohybujících se ionizačních center, také označovaných jako spoky. Pro zpracování snímků bylo nutné spoky roztřídit do několika typů podle jejich tvaru. Byl určen typ spoků ve všech získaných dvojsnímcích, počet a rychlost spoků byla určena pouze ze snímků dobře rozeznatelných typů spoků. Bylo zjištěno, že magnetické pole má významný vliv na počet a tvar spoků. Dále byl zkoumán přechod plazmatu z uspořádání do lokalizovaných ionizačních center k homogennímu rozložení plazmatu. Přechod byl zkoumán třemi různými metodami - měřením pomocí rovinných Langmuirových sond, hmotnostní spektrometrií a optickou emisní spektroskopií.  |% cze 
520 2 9 |a This master thesis studies properties of non-reactive magnetron sputtering in a HiPIMS discharge in three different magnetic fields. Different magnetic field strength was achieved by using titanium targets of three different heights. The sputtering process was studied in presence and absence of moving ionization zones, so-called spokes. It was necessary to categorize spokes into several types according to their shape. The type of spokes was determined from dual images taken with 3 µs time delay. The number and the speed of spokes were determined only if the type of spokes was well-recognizable in the images. Magnetic field has been found to have a significant effect on the number and type of spokes. Furthermore, the transition from self-organized plasma into spokes to a homogeneous plasma was studied. The transition was investigated by three different methods - measurement using flat Langmuir probes, mass spectrometry and optical emission spectroscopy.  |9 eng 
650 0 7 |a fyzika plazmatu  |7 ph120429  |2 czenas 
650 0 7 |a fyzika tenkých vrstev  |7 ph134790  |2 czenas 
650 0 7 |a magnetické pole  |7 ph122548  |2 czenas 
650 0 9 |a magnetic fields  |2 eczenas 
650 0 9 |a physics of thin layers  |2 eczenas 
650 0 9 |a plasma physics  |2 eczenas 
655 7 |a diplomové práce  |7 fd132022  |2 czenas 
655 9 |a master's theses  |2 eczenas 
658 |a Fyzika  |b Fyzika plazmatu  |c PřF N-FY PLAZ (PLAZ)  |2 CZ-BrMU 
700 1 |a Hnilica, Jaroslav,  |d 1983-  |7 mub2013783745  |% UČO 106259  |4 ths 
710 2 |a Masarykova univerzita.  |b Ústav fyzikální elektroniky  |7 xx0116219  |4 dgg 
856 4 1 |u http://is.muni.cz/th/408884/prif_m/ 
CAT |c 20170630  |l MUB01  |h 0421 
CAT |a RACLAVSKA  |b 02  |c 20170711  |l MUB01  |h 1136 
CAT |a JANA  |b 02  |c 20170925  |l MUB01  |h 0854 
CAT |c 20171008  |l MUB01  |h 1002 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20180918  |l MUB01  |h 1318 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20190107  |l MUB01  |h 0117 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20190522  |l MUB01  |h 0748 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20191211  |l MUB01  |h 1018 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20200323  |l MUB01  |h 2340 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20201101  |l MUB01  |h 0053 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20201126  |l MUB01  |h 0114 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20210218  |l MUB01  |h 2357 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20210218  |l MUB01  |h 2358 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20210218  |l MUB01  |h 2358 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20210218  |l MUB01  |h 2359 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20210219  |l MUB01  |h 0000 
CAT |c 20210614  |l MUB01  |h 1024 
CAT |c 20210614  |l MUB01  |h 2011 
CAT |a BATCH  |b 00  |c 20210724  |l MUB01  |h 1255 
CAT |a HANAV  |b 02  |c 20211124  |l MUB01  |h 1426 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20221014  |l MUB01  |h 1924 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20221014  |l MUB01  |h 1925 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20230808  |l MUB01  |h 2144 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20230920  |l MUB01  |h 2219 
LOW |a POSLANO DO SKCR  |b 2017-10-08 
994 - 1 |l MUB01  |l MUB01  |m VYSPR  |1 PRIF  |a Přírodovědecká fakulta  |2 PRVFY  |b ÚK volný výběr - F  |3 K-F-2017-ŠLAP  |5 3145370773  |8 20170711  |f 70  |f Prezenční  |q 20180810  |r 20170114  |s dar 
AVA |a SCI50  |b PRIF  |c ÚK volný výběr - F  |d K-F-2017-ŠLAP  |e available  |t K dispozici  |f 1  |g 0  |h N  |i 0  |j PRVFY 

Podobné jednotky