Studium vlastností nereaktivního HiPIMS procesu za přítomnosti a absence pohybujících se ionizačních center - Šlapanská, Marta (2017)
Tato diplomová práce se zabývá studiem vlastností magnetronového naprašování v HiPIMS výboji při změně magnetického pole. Změna magnetického pole byla docílena použitím tří různě silných titanových terčů. Proces naprašování byl zkoumán pomocí ICCD kamery za přítomnosti a absence pohybujících se ionizačních center, také označovaných jako spoky. Pro zpracování snímků bylo nutné spoky roztřídit do několika typů podle jejich tvaru. Byl určen typ spoků ve všech získaných dvojsnímcích, počet a rychlost spoků byla určena pouze ze snímků dobře rozeznatelných typů spoků. Bylo zjištěno, že magnetické pole má významný vliv na počet a tvar spoků. Dále byl zkoumán přechod plazmatu z uspořádání do lokalizovaných ionizačních center k homogennímu rozložení plazmatu. Přechod byl zkoumán třemi různými metodami - měřením pomocí rovinných Langmuirových sond, hmotnostní spektrometrií a optickou emisní spektroskopií.