Studium vlastností nereaktivního HiPIMS procesu za přítomnosti a absence pohybujících se ionizačních center /
Tato diplomová práce se zabývá studiem vlastností magnetronového naprašování v HiPIMS výboji při změně magnetického pole. Změna magnetického pole byla docílena použitím tří různě silných titanových terčů. Proces naprašování byl zkoumán pomocí ICCD kamery za přítomnosti a absence pohybujících se ioni...
Uloženo v:
| Hlavní autor: | |
|---|---|
| Další autoři: | |
| Typ dokumentu: | VŠ práce nebo rukopis |
| Jazyk: | Čeština |
| Vydáno: |
2017
|
| Témata: | |
| On-line přístup: | http://is.muni.cz/th/408884/prif_m/ |
Pro rezervaci/výpůjčku fyzického dokumentu se přihlaste.
| Popis | Stav | Knihovna | Sbírka | Signatura | Poznámky | Čárový kód |
|---|---|---|---|---|---|---|
|
Dostupné Prezenční |
Přírodovědecká fakulta | ÚK volný výběr - F | K-F-2017-ŠLAP | 3145370773 |