Studium vlastností nereaktivního HiPIMS procesu za přítomnosti a absence pohybujících se ionizačních center /
Tato diplomová práce se zabývá studiem vlastností magnetronového naprašování v HiPIMS výboji při změně magnetického pole. Změna magnetického pole byla docílena použitím tří různě silných titanových terčů. Proces naprašování byl zkoumán pomocí ICCD kamery za přítomnosti a absence pohybujících se ioni...
Uloženo v:
Hlavní autor: | |
---|---|
Další autoři: | |
Typ dokumentu: | VŠ práce nebo rukopis |
Jazyk: | Čeština |
Vydáno: |
2017
|
Témata: | |
On-line přístup: | http://is.muni.cz/th/408884/prif_m/ |
Shrnutí: | Tato diplomová práce se zabývá studiem vlastností magnetronového naprašování v HiPIMS výboji při změně magnetického pole. Změna magnetického pole byla docílena použitím tří různě silných titanových terčů. Proces naprašování byl zkoumán pomocí ICCD kamery za přítomnosti a absence pohybujících se ionizačních center, také označovaných jako spoky. Pro zpracování snímků bylo nutné spoky roztřídit do několika typů podle jejich tvaru. Byl určen typ spoků ve všech získaných dvojsnímcích, počet a rychlost spoků byla určena pouze ze snímků dobře rozeznatelných typů spoků. Bylo zjištěno, že magnetické pole má významný vliv na počet a tvar spoků. Dále byl zkoumán přechod plazmatu z uspořádání do lokalizovaných ionizačních center k homogennímu rozložení plazmatu. Přechod byl zkoumán třemi různými metodami - měřením pomocí rovinných Langmuirových sond, hmotnostní spektrometrií a optickou emisní spektroskopií. This master thesis studies properties of non-reactive magnetron sputtering in a HiPIMS discharge in three different magnetic fields. Different magnetic field strength was achieved by using titanium targets of three different heights. The sputtering process was studied in presence and absence of moving ionization zones, so-called spokes. It was necessary to categorize spokes into several types according to their shape. The type of spokes was determined from dual images taken with 3 µs time delay. The number and the speed of spokes were determined only if the type of spokes was well-recognizable in the images. Magnetic field has been found to have a significant effect on the number and type of spokes. Furthermore, the transition from self-organized plasma into spokes to a homogeneous plasma was studied. The transition was investigated by three different methods - measurement using flat Langmuir probes, mass spectrometry and optical emission spectroscopy. |
---|---|
Popis jednotky: | Vedoucí práce: Jaroslav Hnilica |
Fyzický popis: | 55 listů |