Příprava nanostrukturovaných tenkých vrstev magnetronovým naprašováním buzeným pulzy velkého výkonu - Bernátová, Katarína (2015)
Táto bakalárska práca sa venuje štúdiu magnetrónového naprašovania budeného pulzmi veľkého výkonu v porovnaní s procesom jednosmerného magnetrónového naprašovania. Objektom skúmania tejto práce sú deponované tenké nanokompozitné vrstvy typu TiC/C. Prvá kapitola predstavuje teoretické základy fyzikálneho princípu magnetrónového naprašovania a metód analýzy vrstiev. Experimentálna časť popisuje výber vhodných riadiacich podmienok procesu naprašovania pulzmi veľkého výkonu a definuje výber parametrov pulzu. Experimenty sme uskutočnili pre rôzne prietoky acetylénu, použitého ako zdroj uhlíku vo vrstvách. Záverečná kapitola sa zaoberá predpokladaným vznikom nestabilít procesu naprašovania pulzmi veľkého výkonu a predkladá možné opatrenia. Obsahuje tiež spracované hodnoty výbojového prúdu a výbojového napätia pre pulzy počas procesu naprašovania. Pri oboch procesoch magnetrónového naprašovania sme dokázali porovnať podmienky a zloženie TiC/C vrstiev.