Optical characterisation of non-uniform thin films
Studuje se vliv plošné neuniformity tenkých vrstev na jejich optickou charakterizaci se zaměřením na neuniformitu v tloušťce. Jsou navrženy vhodné modely a parameterizace pro zahrnutí tohoto defektu do výpočtu optických veličin. Jejich použitelnost je ověřena jak numerickými studiemi, tak charakteri...
Uloženo v:
| Hlavní autor: | |
|---|---|
| Další autoři: | |
| Typ dokumentu: | VŠ práce nebo rukopis |
| Jazyk: | Angličtina |
| Vydáno: |
2013
|
| Témata: | |
| On-line přístup: | http://is.muni.cz/th/19972/prif_d/ |
| Shrnutí: | Studuje se vliv plošné neuniformity tenkých vrstev na jejich optickou charakterizaci se zaměřením na neuniformitu v tloušťce. Jsou navrženy vhodné modely a parameterizace pro zahrnutí tohoto defektu do výpočtu optických veličin. Jejich použitelnost je ověřena jak numerickými studiemi, tak charakterizací skutečných vzorků neuniformích tenkých vrstev. Influence of area non-uniformity of thin films on their optical characterisation is studied, with focus on thickness non-uniformity. Suitable models and parametrisations are proposed for incorporation of this defect into the calculation of optical quantities. Their applicability is verified both using numeric studies and by characterisation of real samples of non-uniform thin films. |
|---|---|
| Popis jednotky: | Vedoucí práce: Ivan Ohlídal |
| Fyzický popis: | 179 s. |