Měření tloušťky metalizace křemíkových desek
V této práci jsme se zabývali studiem tloušťek tenkých vrstev pomocí rentgenové analýzy. Analyzovali jsme vzorky s tenkou vrstvou Pt a TiW na křemíkové desce. Vzorky s TiW vrstvou jsme vyrobili v čistých prostorách UFKL metodou fotolitografie. Desku jsme rozlámali a jednotlivé vzorky jsme různě dlou...
Uloženo v:
| Hlavní autor: | |
|---|---|
| Další autoři: | |
| Typ dokumentu: | VŠ práce nebo rukopis |
| Jazyk: | Čeština |
| Vydáno: |
2012
|
| Témata: | |
| On-line přístup: | http://is.muni.cz/th/357967/prif_b/ |
Pro rezervaci/výpůjčku fyzického dokumentu se přihlaste.
| Popis | Stav | Knihovna | Sbírka | Signatura | Poznámky | Čárový kód |
|---|---|---|---|---|---|---|
|
Dostupné Prezenční SKLAD |
Přírodovědecká fakulta | ÚK sklad - F | K-12792 | 3145355512 |