Měření tloušťky metalizace křemíkových desek - Bednář, Michal (2012)
V této práci jsme se zabývali studiem tloušťek tenkých vrstev pomocí rentgenové analýzy. Analyzovali jsme vzorky s tenkou vrstvou Pt a TiW na křemíkové desce. Vzorky s TiW vrstvou jsme vyrobili v čistých prostorách UFKL metodou fotolitografie. Desku jsme rozlámali a jednotlivé vzorky jsme různě dlouho leptali v peroxidu vodíku, abychom získali různě tenké vrstvy. Vzorky s vrstvami Pt a TiW jsme zkoumali metodami rentgenové odrazivosti, práškové difrakce a s použitím profilometru za účelem určení tloušťek, drsností a složení vrstev. Ze získaných dat jsme popsali proces leptání TiW vrstvy.