Příprava a charakterizace diamantu podobných tenkých vrstev
V předložené práci studujeme vyšší harmonické frekvence plazmových oscilací doutnavého výboje užitého při depozicích v plazmatu z plynné fáze a leptání v plazmatu. Hlavní motivací je získání nové diagnostické metody, kterou lze průběh těchto procesů sledovat.
Uloženo v:
| Hlavní autor: | |
|---|---|
| Další autoři: | |
| Typ dokumentu: | VŠ práce nebo rukopis |
| Jazyk: | Čeština |
| Vydáno: |
2010
|
| Témata: | |
| On-line přístup: | http://is.muni.cz/th/270180/prif_b/ |
Pro rezervaci/výpůjčku fyzického dokumentu se přihlaste.
| Popis | Stav | Knihovna | Sbírka | Signatura | Poznámky | Čárový kód |
|---|---|---|---|---|---|---|
|
Dostupné Prezenční SKLAD |
Přírodovědecká fakulta | ÚK sklad - F | K-12638 | 3145349064 |