Příprava a charakterizace diamantu podobných tenkých vrstev
V předložené práci studujeme vyšší harmonické frekvence plazmových oscilací doutnavého výboje užitého při depozicích v plazmatu z plynné fáze a leptání v plazmatu. Hlavní motivací je získání nové diagnostické metody, kterou lze průběh těchto procesů sledovat.
Uloženo v:
| Hlavní autor: | |
|---|---|
| Další autoři: | |
| Typ dokumentu: | VŠ práce nebo rukopis |
| Jazyk: | Čeština |
| Vydáno: |
2010
|
| Témata: | |
| On-line přístup: | http://is.muni.cz/th/270180/prif_b/ |
| LEADER | 04275ctm a22009137a 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | MUB01000647022 | ||
| 003 | CZ BrMU | ||
| 005 | 20100813135954.0 | ||
| 008 | 100708s2010 xr ||||| |||||||||||cze d | ||
| STA | |a POSLANO DO SKCR |b 2019-05-27 | ||
| 035 | |a (ISMU-VSKP)196706 | ||
| 040 | |a BOD114 |b cze |d BOD004 | ||
| 072 | 7 | |a 539 |x Fyzikální stavba hmoty. Jaderná fyzika. Molekulární fyzika |2 Konspekt |9 6 | |
| 080 | |a 539.216 |2 MRF | ||
| 080 | |a 621.793 |2 MRF | ||
| 080 | |a 533.9 |2 MRF | ||
| 080 | |a 539 |2 MRF | ||
| 100 | 1 | |a Žemlička, Radek |% UČO 270180 |* [absolvent PřírF MU] |4 dis | |
| 242 | 1 | 0 | |a Deposition and characterisation of diamon-like carbon thin films |y eng |
| 245 | 1 | 0 | |a Příprava a charakterizace diamantu podobných tenkých vrstev |h [rukopis] / |c Radek Žemlička |
| 260 | |c 2010 | ||
| 300 | |a 36 l. | ||
| 500 | |a Vedoucí práce: Vilma Buršíková | ||
| 502 | |a Bakalářská práce (Bc.)--Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakulta, 2010 | ||
| 520 | 2 | |a V předložené práci studujeme vyšší harmonické frekvence plazmových oscilací doutnavého výboje užitého při depozicích v plazmatu z plynné fáze a leptání v plazmatu. Hlavní motivací je získání nové diagnostické metody, kterou lze průběh těchto procesů sledovat. |% cze | |
| 520 | 2 | 9 | |a In the present work we study higher harmonic frequencies of plasma oscillation of glow discharge used for plasma enhanced chemical vapor deposition and plasma etching. The main motivation is bringing a new real-time diagnostic method for these kinds of plasma processing |9 eng |
| 650 | 0 | 7 | |a depozice tenkých vrstev |7 ph541607 |2 czenas |
| 650 | 0 | 7 | |a plazma (fyzika) |7 ph215328 |2 czenas |
| 650 | 0 | 7 | |a tenké vrstvy |7 ph126536 |2 czenas |
| 650 | 0 | 9 | |a plasma (ionized gases) |2 eczenas |
| 650 | 0 | 9 | |a thin film deposition |2 eczenas |
| 650 | 0 | 9 | |a thin film depozition |2 eczenas |
| 650 | 0 | 9 | |a thin films |2 eczenas |
| 655 | 7 | |a bakalářské práce |7 fd132403 |2 czenas | |
| 658 | |a Fyzika |b Fyzika |c PřF B-FY FYZ (FYZ) |2 CZ-BrMU | ||
| 700 | 1 | |a Buršíková, Vilma, |d 1960- |7 mzk2005269916 |% UČO 2418 |4 ths | |
| 710 | 2 | |a Masarykova univerzita. |b Přírodovědecká fakulta. |b Fyzikální sekce |7 kn20020321517 |4 dgg | |
| 856 | 4 | 1 | |u http://is.muni.cz/th/270180/prif_b/ |
| CAT | |c 20100708 |l MUB01 |h 0451 | ||
| CAT | |a KRIZOVA |b 02 |c 20100806 |l MUB01 |h 1105 | ||
| CAT | |a NOVAKOVA |b 02 |c 20100813 |l MUB01 |h 1359 | ||
| CAT | |c 20110627 |l MUB01 |h 1920 | ||
| CAT | |c 20110627 |l MUB01 |h 2329 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20110714 |l MUB01 |h 1154 | ||
| CAT | |a batch |b 00 |c 20120324 |l MUB01 |h 0140 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20120510 |l MUB01 |h 0733 | ||
| CAT | |c 20120610 |l MUB01 |h 2010 | ||
| CAT | |a HANAV |b 02 |c 20120713 |l MUB01 |h 1059 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20120726 |l MUB01 |h 1016 | ||
| CAT | |a HANAV |b 02 |c 20130218 |l MUB01 |h 1432 | ||
| CAT | |a BATCH |b 00 |c 20130304 |l MUB01 |h 1113 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20130730 |l MUB01 |h 0745 | ||
| CAT | |c 20140127 |l MUB01 |h 1905 | ||
| CAT | |c 20150703 |l MUB01 |h 1127 | ||
| CAT | |c 20150901 |l MUB01 |h 1446 | ||
| CAT | |c 20150921 |l MUB01 |h 1407 | ||
| CAT | |a BATCH |b 00 |c 20151226 |l MUB01 |h 0117 | ||
| CAT | |a HANAV |b 02 |c 20170925 |l MUB01 |h 1610 | ||
| CAT | |a HANAV |b 02 |c 20171219 |l MUB01 |h 1210 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20180826 |l MUB01 |h 1454 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20180826 |l MUB01 |h 1504 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20190109 |l MUB01 |h 1226 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20190129 |l MUB01 |h 0937 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20190129 |l MUB01 |h 0941 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20190129 |l MUB01 |h 0952 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20190227 |l MUB01 |h 0752 | ||
| CAT | |c 20190527 |l MUB01 |h 1025 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20201030 |l MUB01 |h 0223 | ||
| CAT | |c 20210614 |l MUB01 |h 0948 | ||
| CAT | |c 20210614 |l MUB01 |h 1937 | ||
| CAT | |a BATCH |b 00 |c 20210724 |l MUB01 |h 1158 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20210819 |l MUB01 |h 1726 | ||
| CAT | |a HANAV |b 02 |c 20211115 |l MUB01 |h 1616 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20230808 |l MUB01 |h 2127 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20230919 |l MUB01 |h 2216 | ||
| LOW | |a POSLANO DO SKCR |b 2019-05-27 | ||
| 994 | - | 1 | |l MUB01 |l MUB01 |m VYSPR |1 PRIF |a Přírodovědecká fakulta |2 PRSFY |b ÚK sklad - F |3 K-12638 |5 3145349064 |8 20100806 |a 2010 |f 71 |f Prezenční SKLAD |q 20180809 |r 20100806 |s dar |
| AVA | |a SCI50 |b PRIF |c ÚK sklad - F |d K-12638 |e available |t K dispozici |f 1 |g 0 |h N |i 0 |j PRSFY | ||