Příprava a charakterizace diamantu podobných tenkých vrstev - Žemlička, Radek; Buršíková, Vilma, 1960-; Masarykova univerzita. Přírodovědecká fakulta. Fyzikální sekce (2010)
V předložené práci studujeme vyšší harmonické frekvence plazmových oscilací doutnavého výboje užitého při depozicích v plazmatu z plynné fáze a leptání v plazmatu. Hlavní motivací je získání nové diagnostické metody, kterou lze průběh těchto procesů sledovat.
In the present work we study higher harmonic frequencies of plasma oscillation of glow discharge used for plasma enhanced chemical vapor deposition and plasma etching. The main motivation is bringing a new real-time diagnostic method for these kinds of plasma processing
Vedoucí práce: Vilma Buršíková
Bakalářská práce (Bc.)--Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakulta, 2010
Keywords: depozice tenkých vrstev; plazma (fyzika); tenké vrstvy; plasma (ionized gases); thin film deposition; thin film depozition; thin films; bakalářské práce