Příprava a charakterizace diamantu podobných tenkých vrstev
V předložené práci studujeme vyšší harmonické frekvence plazmových oscilací doutnavého výboje užitého při depozicích v plazmatu z plynné fáze a leptání v plazmatu. Hlavní motivací je získání nové diagnostické metody, kterou lze průběh těchto procesů sledovat.
Uloženo v:
| Hlavní autor: | |
|---|---|
| Další autoři: | |
| Typ dokumentu: | VŠ práce nebo rukopis |
| Jazyk: | Čeština |
| Vydáno: |
2010
|
| Témata: | |
| On-line přístup: | http://is.muni.cz/th/270180/prif_b/ |
| Shrnutí: | V předložené práci studujeme vyšší harmonické frekvence plazmových oscilací doutnavého výboje užitého při depozicích v plazmatu z plynné fáze a leptání v plazmatu. Hlavní motivací je získání nové diagnostické metody, kterou lze průběh těchto procesů sledovat. In the present work we study higher harmonic frequencies of plasma oscillation of glow discharge used for plasma enhanced chemical vapor deposition and plasma etching. The main motivation is bringing a new real-time diagnostic method for these kinds of plasma processing |
|---|---|
| Popis jednotky: | Vedoucí práce: Vilma Buršíková |
| Fyzický popis: | 36 l. |