Povrchová úprava krystalického křemíku v bariérovém výboji
Tato práce se věnuje studiu povrchových modifikací krystalického křemíku (c-Si) v bariérovém výboji buzeném za atmosférického tlaku ve vzduchu. V experimentech byl využíván koplanární bariérový výboj (DCSBD) a byl studován vliv parametrů výboje a délky expozice na změnu vlastností povrchu křemíkovýc...
Uloženo v:
| Hlavní autor: | |
|---|---|
| Další autoři: | |
| Typ dokumentu: | VŠ práce nebo rukopis |
| Jazyk: | Čeština |
| Vydáno: |
2010
|
| Témata: | |
| On-line přístup: | http://is.muni.cz/th/269665/prif_b/ |
Pro rezervaci/výpůjčku fyzického dokumentu se přihlaste.
| Popis | Stav | Knihovna | Sbírka | Signatura | Poznámky | Čárový kód |
|---|---|---|---|---|---|---|
|
Dostupné Prezenční SKLAD |
Přírodovědecká fakulta | ÚK sklad - F | K-12608 | 3145349052 |