Plazmová úprava povrchu krystalického křemíku
V předložené diplomové práci studujeme plazmové úpravy krystalického křemíku s využitím difúzního koplanárního povrchového bariérového výboje (DCSBD) buzeného za atmosférického tlaku. Byly studovány povrchové vlastnosti křemíku po plazmové úpravě a vliv podmínek opracování, krystalografické orientac...
Uloženo v:
| Hlavní autor: | |
|---|---|
| Další autoři: | |
| Typ dokumentu: | VŠ práce nebo rukopis |
| Jazyk: | Čeština |
| Vydáno: |
2012
|
| Témata: | |
| On-line přístup: | http://is.muni.cz/th/269665/prif_m/ |
Pro rezervaci/výpůjčku fyzického dokumentu se přihlaste.
| Popis | Stav | Knihovna | Sbírka | Signatura | Poznámky | Čárový kód |
|---|---|---|---|---|---|---|
|
Dostupné Prezenční SKLAD |
Přírodovědecká fakulta | ÚK sklad - F | K-12774 | 3145355453 |