Depozice tenkých vrstev ve výbojích za atmosférického tlaku
V předložené práci studuji homogenní dielektrické bariérové výboje hořící za atmosférického tlaku a depozice tenkých vrstev v těchto výbojích ve směsi hexamethyldisiloxanu s dusíkem a kyslíkem a ve směsi propan-butanu s dusíkem. Provedl jsem základní elektrickou diagnostiku výbojového plasmatu a cha...
Saved in:
Main Author: | |
---|---|
Other Authors: | |
Format: | Thesis Manuscript |
Language: | Czech |
Published: |
2010
|
Subjects: | |
Online Access: | http://is.muni.cz/th/175867/prif_m/ |
For reservations/loans of the physical document, please log in.
Description | Status | Library | Collection | Call Number | Notes | Barcode |
---|---|---|---|---|---|---|
Available In house loan CLOSED STACKS |
Faculty of Science | ÚK sklad - F | K-12582 | 3145349079 |