Depozice tenkých vrstev ve výbojích za atmosférického tlaku
V předložené práci studuji homogenní dielektrické bariérové výboje hořící za atmosférického tlaku a depozice tenkých vrstev v těchto výbojích ve směsi hexamethyldisiloxanu s dusíkem a kyslíkem a ve směsi propan-butanu s dusíkem. Provedl jsem základní elektrickou diagnostiku výbojového plasmatu a cha...
Uloženo v:
| Hlavní autor: | |
|---|---|
| Další autoři: | |
| Typ dokumentu: | VŠ práce nebo rukopis |
| Jazyk: | Čeština |
| Vydáno: |
2010
|
| Témata: | |
| On-line přístup: | http://is.muni.cz/th/175867/prif_m/ |
| LEADER | 04630ctm a22008537a 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | MUB01000646502 | ||
| 003 | CZ BrMU | ||
| 005 | 20101108122927.0 | ||
| 008 | 100701s2010 xr ||||| |||||||||||cze d | ||
| STA | |a POSLANO DO SKCR |b 2019-05-27 | ||
| 035 | |a (ISMU-VSKP)187494 | ||
| 040 | |a BOD114 |b cze |d BOD004 | ||
| 072 | 7 | |a 621 |x Strojírenství |2 Konspekt |9 19 | |
| 080 | |a 621.793 |2 MRF | ||
| 080 | |a 621 |2 MRF | ||
| 100 | 1 | |a Studnička, Filip |% UČO 175867 |* [absolvent PřírF MU] |4 dis | |
| 242 | 1 | 0 | |a Deposition of thin films in atmospheric pressure discharges |y eng |
| 245 | 1 | 0 | |a Depozice tenkých vrstev ve výbojích za atmosférického tlaku |h [rukopis] / |c Filip Studnička |
| 260 | |c 2010 | ||
| 300 | |a 60 l. | ||
| 500 | |a Vedoucí práce: David Trunec | ||
| 502 | |a Diplomová práce (Mgr.)--Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakulta, 2010 | ||
| 520 | 2 | |a V předložené práci studuji homogenní dielektrické bariérové výboje hořící za atmosférického tlaku a depozice tenkých vrstev v těchto výbojích ve směsi hexamethyldisiloxanu s dusíkem a kyslíkem a ve směsi propan-butanu s dusíkem. Provedl jsem základní elektrickou diagnostiku výbojového plasmatu a charakterizaci připravených vrstev pomocí dostupných metod (např. optická mikroskopie, spektroskopická elipsometrie, hloubkově rozlišené indentační měření, FITR spektroskopie, spektrofotometrie v odraženém světle). Studoval jsem vliv teploty substrátu, množství příměsí a nový tvar elektrody při depozici na vlastnosti deponovaných vrstev. |% cze | |
| 520 | 2 | 9 | |a In the present work I studied dielectric barrier discharge at atmospheric pressure and the deposition of thin organosilicon films in nitrogen, oxygen and HMDSO or propane-butane nitrogen atmosphere. I performed basic electric diagnostics of plasma and the deposited films were characterised by optical microscopy, depth sensing indentation, ellipsometry, FTIR spectroscopy etc. I studied the effects of temperature, ammount of admixtures and new type of electrode on the film properties. |9 eng |
| 650 | 0 | 7 | |a depozice tenkých vrstev |7 ph541607 |2 czenas |
| 650 | 0 | 9 | |a thin film deposition |2 eczenas |
| 650 | 0 | 9 | |a thin film depozition |2 eczenas |
| 655 | 7 | |a diplomové práce |7 fd132022 |2 czenas | |
| 658 | |a Fyzika |b Fyzika plazmatu |c PřF N-FY PLAZ (PLAZ) |2 CZ-BrMU | ||
| 700 | 1 | |a Trunec, David, |d 1962- |7 ola2003200929 |% UČO 1597 |4 ths | |
| 710 | 2 | |a Masarykova univerzita. |b Ústav fyzikální elektroniky |7 xx0116219 |4 dgg | |
| 856 | 4 | 1 | |u http://is.muni.cz/th/175867/prif_m/ |
| CAT | |c 20100702 |l MUB01 |h 1037 | ||
| CAT | |a KRIZOVA |b 02 |c 20100806 |l MUB01 |h 1436 | ||
| CAT | |a NOVAKOVA |b 02 |c 20101108 |l MUB01 |h 1229 | ||
| CAT | |a HANAV |b 02 |c 20101109 |l MUB01 |h 2313 | ||
| CAT | |c 20110627 |l MUB01 |h 1919 | ||
| CAT | |c 20110627 |l MUB01 |h 2329 | ||
| CAT | |a batch |b 00 |c 20120324 |l MUB01 |h 0139 | ||
| CAT | |c 20120610 |l MUB01 |h 2009 | ||
| CAT | |a HANAV |b 02 |c 20121008 |l MUB01 |h 2219 | ||
| CAT | |a BATCH |b 00 |c 20130304 |l MUB01 |h 1112 | ||
| CAT | |c 20140127 |l MUB01 |h 1905 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20140527 |l MUB01 |h 0743 | ||
| CAT | |a HANAV |b 02 |c 20140829 |l MUB01 |h 1428 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20141113 |l MUB01 |h 0712 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20141210 |l MUB01 |h 0807 | ||
| CAT | |c 20150703 |l MUB01 |h 1127 | ||
| CAT | |c 20150901 |l MUB01 |h 1446 | ||
| CAT | |c 20150921 |l MUB01 |h 1407 | ||
| CAT | |a BATCH |b 00 |c 20151226 |l MUB01 |h 0116 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20180918 |l MUB01 |h 1317 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20190107 |l MUB01 |h 0116 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20190522 |l MUB01 |h 0748 | ||
| CAT | |c 20190527 |l MUB01 |h 1024 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20191211 |l MUB01 |h 1017 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20200323 |l MUB01 |h 2339 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20201101 |l MUB01 |h 0053 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20201126 |l MUB01 |h 0114 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20210218 |l MUB01 |h 2357 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20210218 |l MUB01 |h 2358 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20210218 |l MUB01 |h 2358 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20210218 |l MUB01 |h 2358 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20210218 |l MUB01 |h 2359 | ||
| CAT | |c 20210614 |l MUB01 |h 0947 | ||
| CAT | |c 20210614 |l MUB01 |h 1937 | ||
| CAT | |a BATCH |b 00 |c 20210724 |l MUB01 |h 1158 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20221014 |l MUB01 |h 1923 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20221014 |l MUB01 |h 1925 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20230808 |l MUB01 |h 2143 | ||
| LOW | |a POSLANO DO SKCR |b 2019-05-27 | ||
| 994 | - | 1 | |l MUB01 |l MUB01 |m VYSPR |1 PRIF |a Přírodovědecká fakulta |2 PRSFY |b ÚK sklad - F |3 K-12582 |5 3145349079 |8 20100806 |a 2010 |f 71 |f Prezenční SKLAD |q 20180809 |r 20100806 |s dar |
| AVA | |a SCI50 |b PRIF |c ÚK sklad - F |d K-12582 |e available |t K dispozici |f 1 |g 0 |h N |i 0 |j PRSFY | ||