Dekontaminace povrchu vzorků pro řádkovací elektronovou mikroskopii pomocí plazmatu /
Tato bakalářská práce se zabývá problematikou čištění povrchů od organické kontaminace metodou plazmového čištění. Metoda byla uskutečněna in situ pomocí konstrukčně zjednodušeného koplanárního dielektrického bariérového výboje použitelného při širokém rozmezí tlaku (WPR - CDBD). S cílem vyhodnocení...
Uloženo v:
| Hlavní autor: | |
|---|---|
| Další autoři: | |
| Typ dokumentu: | VŠ práce nebo rukopis |
| Jazyk: | Slovenština |
| Vydáno: |
2020
|
| Témata: | |
| On-line přístup: | https://is.muni.cz/th/vusoo/ |
| LEADER | 03689ctm a22006257i 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | MUB01006459907 | ||
| 003 | CZ BrMU | ||
| 005 | 20200609094711.0 | ||
| 008 | 200211s2020 xr ||||| |||||||||||slo d | ||
| STA | |a POSLANO DO SKCR |b 2020-09-21 | ||
| 035 | |a (ISMU-VSKP)326076 | ||
| 040 | |a BOD114 |b cze |d BOD004 |e rda | ||
| 072 | 7 | |a 533 |x Mechanika plynů. Aeromechanika. Fyzika plazmatu |2 Konspekt |9 6 | |
| 080 | |a 533.9 |2 MRF | ||
| 080 | |a (043)378.22 |2 MRF | ||
| 100 | 1 | |a Poljak, Martin |% UČO 461247 |* [absolvent PřírF MU] |4 dis | |
| 242 | 1 | 0 | |a Decontamination of sample surface for Scanning Electron Microscopy using to plasma |y eng |
| 242 | 1 | 0 | |a Dekontaminácia povrchu vzoriek pre riadkovaciu elektrónovú mikroskopiu pomocou plazmy |y slo |
| 245 | 1 | 0 | |a Dekontaminace povrchu vzorků pro řádkovací elektronovou mikroskopii pomocí plazmatu / |c Martin Poljak |
| 264 | 0 | |c 2020 | |
| 300 | |a 58 stran : |b ilustrace | ||
| 336 | |a text |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |a bez média |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |a svazek |b nc |2 rdacarrier | ||
| 500 | |a Vedoucí práce: Pavel Sťahel | ||
| 502 | |a Bakalářská práce (Bc.)--Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakulta, 2020 | ||
| 520 | 2 | |a Tato bakalářská práce se zabývá problematikou čištění povrchů od organické kontaminace metodou plazmového čištění. Metoda byla uskutečněna in situ pomocí konstrukčně zjednodušeného koplanárního dielektrického bariérového výboje použitelného při širokém rozmezí tlaku (WPR - CDBD). S cílem vyhodnocení úbytku nebo změny vrstvy konta-minantu byly použity kvantitativní i kvalitativní metody EDX, SEM a UV fotometrie. Metody ověřily vliv plazmového čištění na parametrech jako je vzdálenost od výboje nebo homogenita vrstev. |% cze | |
| 520 | 2 | 9 | |a This thesis deals with the problem of removal of organic contamination using a plasma cleaning method. The source of plasma was a wide pressure range - coplanar dielectric barrier discharge (WPR - CDBD). The effects of contamination removal were studied with EDX, SEM and UV photometry methods. The experiments verified the effect of plasma cleaning and its dependence on parameters such as distance from the discharge or layer homogeneity. |9 eng |
| 650 | 0 | 7 | |a fyzika plazmatu |7 ph120429 |2 czenas |
| 650 | 0 | 7 | |a plazma (fyzika) |7 ph215328 |2 czenas |
| 650 | 0 | 9 | |a plasma (ionized gases) |2 eczenas |
| 650 | 0 | 9 | |a plasma physics |2 eczenas |
| 655 | 7 | |a bakalářské práce |7 fd132403 |2 czenas | |
| 655 | 9 | |a bachelor's theses |2 eczenas | |
| 658 | |a Fyzika |b Biofyzika |c PřF B-FY BF (BF) |2 CZ-BrMU | ||
| 700 | 1 | |a Sťahel, Pavel |7 mub2011665695 |4 ths | |
| 710 | 2 | |a Masarykova univerzita. |b Přírodovědecká fakulta. |b Fyzikální sekce |7 kn20020321517 |4 dgg | |
| 856 | 4 | 1 | |u https://is.muni.cz/th/vusoo/ |
| CAT | |c 20200211 |l MUB01 |h 0420 | ||
| CAT | |a TRENCANSKA |b 02 |c 20200306 |l MUB01 |h 1143 | ||
| CAT | |a PTICHAX |b 02 |c 20200603 |l MUB01 |h 2302 | ||
| CAT | |a PTICHAX |b 02 |c 20200603 |l MUB01 |h 2302 | ||
| CAT | |a JANA |b 02 |c 20200609 |l MUB01 |h 0947 | ||
| CAT | |c 20200921 |l MUB01 |h 1101 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20201030 |l MUB01 |h 0224 | ||
| CAT | |c 20210614 |l MUB01 |h 1036 | ||
| CAT | |c 20210614 |l MUB01 |h 2022 | ||
| CAT | |a BATCH |b 00 |c 20210724 |l MUB01 |h 1316 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20210819 |l MUB01 |h 1726 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20230808 |l MUB01 |h 2127 | ||
| CAT | |c 20240209 |l MUB01 |h 1158 | ||
| LOW | |a POSLANO DO SKCR |b 2020-09-21 | ||
| 994 | - | 1 | |l MUB01 |l MUB01 |m VYSPR |1 PRIF |a Přírodovědecká fakulta |2 PRVFY |b ÚK volný výběr - F |3 K-F-2020-POLJ |5 3145377759 |8 20200306 |f 70 |f Prezenční |r 20200306 |s dar |
| AVA | |a SCI50 |b PRIF |c ÚK volný výběr - F |d K-F-2020-POLJ |e available |t K dispozici |f 1 |g 0 |h N |i 1 |j PRVFY | ||