Dekontaminace povrchu vzorků pro řádkovací elektronovou mikroskopii pomocí plazmatu - Poljak, Martin (2020)
Tato bakalářská práce se zabývá problematikou čištění povrchů od organické kontaminace metodou plazmového čištění. Metoda byla uskutečněna in situ pomocí konstrukčně zjednodušeného koplanárního dielektrického bariérového výboje použitelného při širokém rozmezí tlaku (WPR - CDBD). S cílem vyhodnocení úbytku nebo změny vrstvy konta-minantu byly použity kvantitativní i kvalitativní metody EDX, SEM a UV fotometrie. Metody ověřily vliv plazmového čištění na parametrech jako je vzdálenost od výboje nebo homogenita vrstev.