Určení absolutní koncentrace částic při naprašování pulzy velkého výkonu - Žulták, Šimon (2017)
Táto práca sa zaoberá štúdiom koncentrácie metastabilov argónu pri magnetrónovom naprašovaní. Na určovanie koncentrácie je používaná opticko-emisná spektroskopia a metóda efektívnych vetviacich pomerov. Pre prípad DC magnetrónového naprašovania je určená závislosť na tlaku a výkone, v prípade HiPIMS ide o časový vývoj koncentrácie počas pulzu. Porovnanie nameraných trendov s literatútou ukázalo, že metóda je vhodná na meranie koncentrácie argónu počas procesu naprašovania.