Příprava funkčních vrstev metodami PVD /

Předkládaná práce je zaměřena na vývoj tvrdých povlaků složených z titanu a uhlíku. Povlaky byly deponovány rozprašováním rotujícího cylindrického titanového terče ve směsi argonu a acetylenu. Substráty byly umístěny na držácích, jež prováděly takzvanou planetární rotaci kolem centrální rotující cyl...

Celý popis

Uloženo v:
Podrobná bibliografie
Hlavní autor: Žemlička, Radek (Autor práce)
Další autoři: Vašina, Petr, 1979- (Vedoucí práce)
Typ dokumentu: VŠ práce nebo rukopis
Jazyk:Čeština
Vydáno: 2016
Témata:
On-line přístup:http://is.muni.cz/th/270180/prif_d/
Obálka
LEADER 05209ctm a22008057i 4500
001 MUB01006365655
003 CZ BrMU
005 20161014100351.0
008 160505s2016 xr ||||| |||||||||||cze d
STA |a POSLANO DO SKCR  |b 2016-11-07 
035 |a (ISMU-VSKP)232743 
040 |a BOD114  |b cze  |d BOD004  |e rda 
072 7 |a 620.1/.2  |x Nauka o materiálu  |2 Konspekt  |9 19 
080 |a 620.2-022.532-039  |2 MRF 
080 |a 621.793  |2 MRF 
080 |a (043.3)  |2 MRF 
100 1 |a Žemlička, Radek  |% UČO 270180  |4 dis 
242 1 0 |a Deposition of functional coatings by PVC methods  |y eng 
245 1 0 |a Příprava funkčních vrstev metodami PVD /  |c Radek Žemlička 
264 0 |c 2016 
300 |a 116 stran 
336 |a text  |b txt  |2 rdacontent 
337 |a bez média  |b n  |2 rdamedia 
338 |a svazek  |b nc  |2 rdacarrier 
500 |a Vedoucí práce: Petr Vašina 
502 |a Dizertace (Ph.D.)--Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakulta, 2016 
520 2 |a Předkládaná práce je zaměřena na vývoj tvrdých povlaků složených z titanu a uhlíku. Povlaky byly deponovány rozprašováním rotujícího cylindrického titanového terče ve směsi argonu a acetylenu. Substráty byly umístěny na držácích, jež prováděly takzvanou planetární rotaci kolem centrální rotující cylindrické titanové katody a kolem dalších tří vertikálních os. Na držáky substrátu bylo možné rovněž přivádět předpětí. V průběhu hledání optimálních depozičních parametrů pro růst povlaků s co největší možnou tvrdostí a s nízkým koeficientem tření, byly monitorovány plazmové parametry, které byly posléze korelovány s vlastnostmi deponovaných povlaků. Hodnota poměru intenzit spektrálních čar Ti/Ar, stejně jako hodnota katodového napětí, vykázaly náhlý pokles při takových depozičních podmínkách, při kterých zároveň rostly vrstvy s maximální dosaženou tvrdostí. V této oblasti ukázala EDX analýza rovněž prudký pokles atomové koncentrace titanu v deponovaných povlacích.  |% cze 
520 2 9 |a The present work is focused to developing the titanium-carbon hard coatings. The coatings were deposited by sputtering using a rotating cylindrical titanium target in an argon/acetylene gas mixture. Substrates were placed on a DC-biasable holder to perform so called planetary rotation around the central rotating cylindrical Ti cathode and around two other vertical axex. While the optimal deposition process parameters to grow the coating of the highest possible hardness and low friction coefficient were sought, the plasma parameters were monitored and correlated with the properties of the deposited coatings. The Ti/Ar line intensity and the cathode voltage exhibited a sudden drop at the conditions for which the maximal hardness was reached. EDX analyses also showed a sudden drop in the atomic concentration of titanium and a sudden increase in that of carbon at the same moment.  |9 eng 
650 0 7 |a depozice tenkých vrstev  |7 ph541607  |2 czenas 
650 0 7 |a nanokompozitní materiály  |7 ph386360  |2 czenas 
650 0 9 |a nanocomposites  |2 eczenas 
650 0 9 |a thin film deposition  |2 eczenas 
655 7 |a disertace  |7 fd132024  |2 czenas 
655 9 |a dissertations  |2 eczenas 
658 |a Fyzika (čtyřleté)  |c PřF D-FY4 FYPZ  |2 CZ-BrMU 
700 1 |a Vašina, Petr,  |d 1979-  |7 mub2011669170  |% UČO 21782  |4 ths 
710 2 |a Masarykova univerzita.  |b Ústav fyzikální elektroniky  |7 xx0116219  |4 dgg 
856 4 1 |u http://is.muni.cz/th/270180/prif_d/ 
CAT |c 20160505  |l MUB01  |h 0420 
CAT |a HANAV  |b 02  |c 20160510  |l MUB01  |h 1410 
CAT |a RACLAVSKA  |b 02  |c 20160725  |l MUB01  |h 1018 
CAT |c 20160801  |l MUB01  |h 1557 
CAT |a JANA  |b 02  |c 20161014  |l MUB01  |h 1003 
CAT |c 20161107  |l MUB01  |h 1218 
CAT |a HANAV  |b 02  |c 20170829  |l MUB01  |h 0009 
CAT |a HANAV  |b 02  |c 20170925  |l MUB01  |h 1626 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20180918  |l MUB01  |h 1318 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20190107  |l MUB01  |h 0117 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20190522  |l MUB01  |h 0748 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20191211  |l MUB01  |h 1018 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20200323  |l MUB01  |h 2339 
CAT |a FUKSOVAX  |b 02  |c 20201027  |l MUB01  |h 1201 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20201101  |l MUB01  |h 0053 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20201126  |l MUB01  |h 0114 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20210218  |l MUB01  |h 2357 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20210218  |l MUB01  |h 2358 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20210218  |l MUB01  |h 2358 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20210218  |l MUB01  |h 2359 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20210219  |l MUB01  |h 0000 
CAT |c 20210614  |l MUB01  |h 1019 
CAT |c 20210614  |l MUB01  |h 2006 
CAT |a BATCH  |b 00  |c 20210724  |l MUB01  |h 1245 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20221014  |l MUB01  |h 1924 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20221014  |l MUB01  |h 1925 
CAT |a FUKSOVAX  |b 02  |c 20230712  |l MUB01  |h 1121 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20230808  |l MUB01  |h 2144 
LOW |a POSLANO DO SKCR  |b 2016-11-07 
994 - 1 |l MUB01  |l MUB01  |m VYSPR  |1 PRIF  |a Přírodovědecká fakulta  |2 PRVFY  |b ÚK volný výběr - F  |3 K-F-2016-ŽEML  |5 3145368928  |8 20160725  |f 70  |f Prezenční  |q 20180810  |r 20160114  |s dar 
AVA |a SCI50  |b PRIF  |c ÚK volný výběr - F  |d K-F-2016-ŽEML  |e available  |t K dispozici  |f 1  |g 0  |h N  |i 0  |j PRVFY