Příprava funkčních vrstev metodami PVD - Žemlička, Radek (2016)
Předkládaná práce je zaměřena na vývoj tvrdých povlaků složených z titanu a uhlíku. Povlaky byly deponovány rozprašováním rotujícího cylindrického titanového terče ve směsi argonu a acetylenu. Substráty byly umístěny na držácích, jež prováděly takzvanou planetární rotaci kolem centrální rotující cylindrické titanové katody a kolem dalších tří vertikálních os. Na držáky substrátu bylo možné rovněž přivádět předpětí. V průběhu hledání optimálních depozičních parametrů pro růst povlaků s co největší možnou tvrdostí a s nízkým koeficientem tření, byly monitorovány plazmové parametry, které byly posléze korelovány s vlastnostmi deponovaných povlaků. Hodnota poměru intenzit spektrálních čar Ti/Ar, stejně jako hodnota katodového napětí, vykázaly náhlý pokles při takových depozičních podmínkách, při kterých zároveň rostly vrstvy s maximální dosaženou tvrdostí. V této oblasti ukázala EDX analýza rovněž prudký pokles atomové koncentrace titanu v deponovaných povlacích.