In-situ studie vývoje vnitřního pnutí ve vrstvách připravovaných magnetronovým naprašováním /
Táto bakalárska práca sa venuje in-situ meraniu pnutia v tenkých vrstvách pripravovanej magnetrónovým naprašovaním. Pre toto meranie bol použitý mnohozväzkový optický sen- zor na meranie pnutia (Multibeam Optical Stress Senzor - MOSS). Hlavným cieľom tejto práce bola správna kalibrácia prístroja MOS...
Uloženo v:
| Hlavní autor: | |
|---|---|
| Další autoři: | |
| Typ dokumentu: | VŠ práce nebo rukopis |
| Jazyk: | Slovenština |
| Vydáno: |
2015
|
| Témata: | |
| On-line přístup: | http://is.muni.cz/th/408184/prif_b/ |
| Shrnutí: | Táto bakalárska práca sa venuje in-situ meraniu pnutia v tenkých vrstvách pripravovanej magnetrónovým naprašovaním. Pre toto meranie bol použitý mnohozväzkový optický sen- zor na meranie pnutia (Multibeam Optical Stress Senzor - MOSS). Hlavným cieľom tejto práce bola správna kalibrácia prístroja MOSS a overenie jeho funkčnosti a využiteľnosti. Pre správnu kalibráciu bolo nutné nastaviť správnou optickú vzdialenosť. Funkčnosť a správne meranie bolo overované pri depozícii molybdénu na kremíkový substrát. Bol skúmaný vplyv tlaku, privedeného predpätia na substrát, rotácie a zahrievania substrátu na vývoj pnutia počas rastu vrstvy. Bolo spravené meranie aj na komplexnejšom type nanolaminátovej vrstvy - Mo₂BC. This thesis is devoted to in-situ stress measurement in a thin films prepared by mag- netron sputtering. Multibeam optical stress sensor (MOSS) was used for measurement. The main objective of this work was to perform correct calibration of MOSS and verify its functionality and usability. Calibration of the optical distance was necessary for proper measurements. The functionality of the device and correctness of the measurements was verified for depositions of molybdenum on silicon substrate. The effect of pressure, bias, substrate rotation and heating on the stress evolution over the thin film grows was studied. A different type of more complex coatings - Mo₂BC, was tested as well. |
|---|---|
| Popis jednotky: | Vedoucí práce: Pavel Souček |
| Fyzický popis: | 39 listů |