In-situ studie vývoje vnitřního pnutí ve vrstvách připravovaných magnetronovým naprašováním - Tulisová, Nikola (2015)
Táto bakalárska práca sa venuje in-situ meraniu pnutia v tenkých vrstvách pripravovanej magnetrónovým naprašovaním. Pre toto meranie bol použitý mnohozväzkový optický sen- zor na meranie pnutia (Multibeam Optical Stress Senzor - MOSS). Hlavným cieľom tejto práce bola správna kalibrácia prístroja MOSS a overenie jeho funkčnosti a využiteľnosti. Pre správnu kalibráciu bolo nutné nastaviť správnou optickú vzdialenosť. Funkčnosť a správne meranie bolo overované pri depozícii molybdénu na kremíkový substrát. Bol skúmaný vplyv tlaku, privedeného predpätia na substrát, rotácie a zahrievania substrátu na vývoj pnutia počas rastu vrstvy. Bolo spravené meranie aj na komplexnejšom type nanolaminátovej vrstvy - Mo₂BC.