Příprava vrstevy typu Mo₂BC pomocí pulzního magnetronového naprašování a jejich analýza /
Táto práca sa zaoberá prípravou a diagnostikou Mo₂BC vrstiev, pripravených magnetrónovým naprašovaním z troch terčov. Bola použitá plazma budená pulzmi, ktorá zvyšovala počet iónov dopadajúcich na substrát, čím sa znížila teplota potrebná na tvorbu kryštalických vrstiev. V práci sa hľadajú optimálne...
Saved in:
Main Author: | |
---|---|
Other Authors: | |
Format: | Thesis Manuscript |
Language: | Slovak |
Published: |
2015
|
Subjects: | |
Online Access: | http://is.muni.cz/th/408573/prif_b/ |
For reservations/loans of the physical document, please log in.
Description | Status | Library | Collection | Call Number | Notes | Barcode |
---|---|---|---|---|---|---|
Available In house loan |
Faculty of Science | ÚK volný výběr - F | K-F-2015-DEBN | 3145365088 |