Příprava vrstevy typu Mo₂BC pomocí pulzního magnetronového naprašování a jejich analýza /

Táto práca sa zaoberá prípravou a diagnostikou Mo₂BC vrstiev, pripravených magnetrónovým naprašovaním z troch terčov. Bola použitá plazma budená pulzmi, ktorá zvyšovala počet iónov dopadajúcich na substrát, čím sa znížila teplota potrebná na tvorbu kryštalických vrstiev. V práci sa hľadajú optimálne...

Celý popis

Uloženo v:
Podrobná bibliografie
Hlavní autor: Debnárová, Stanislava (Autor práce)
Další autoři: Souček, Pavel, 1986- (Vedoucí práce)
Typ dokumentu: VŠ práce nebo rukopis
Jazyk:Slovenština
Vydáno: 2015
Témata:
depozice tenkých vrstev
tenké vrstvy
thin film deposition
thin films
bakalářské práce
bachelor's theses
On-line přístup:http://is.muni.cz/th/408573/prif_b/
Obálka
LEADER 05401ctm a22008417i 4500
001 MUB01006342865
003 CZ BrMU
005 20150909115806.0
008 150625s2015 xr ||||| |||||||||||slo d
STA |a POSLANO DO SKCR  |b 2016-03-09 
035 |a (ISMU-VSKP)271753 
040 |a BOD114  |b cze  |d BOD004  |e rda 
072 7 |a 539  |x Fyzikální stavba hmoty. Jaderná fyzika. Molekulární fyzika  |2 Konspekt  |9 6 
080 |a 621.793  |2 MRF 
080 |a 539.216  |2 MRF 
080 |a (043)378.22  |2 MRF 
100 1 |a Debnárová, Stanislava  |% UČO 408573  |* [absolvent PřírF MU]  |4 dis 
242 1 0 |a Preparation of Mo₂BC type thin films by pulsed magnetron sputtering and their analysis  |y eng 
245 1 0 |a Příprava vrstevy typu Mo₂BC pomocí pulzního magnetronového naprašování a jejich analýza /  |c Stanislava Debnárová 
264 0 |c 2015 
300 |a 44 listů 
336 |a text  |b txt  |2 rdacontent 
337 |a bez média  |b n  |2 rdamedia 
338 |a svazek  |b nc  |2 rdacarrier 
500 |a Vedoucí práce: Pavel Souček 
502 |a Bakalářská práce (Bc.)--Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakulta, 2015 
520 2 |a Táto práca sa zaoberá prípravou a diagnostikou Mo₂BC vrstiev, pripravených magnetrónovým naprašovaním z troch terčov. Bola použitá plazma budená pulzmi, ktorá zvyšovala počet iónov dopadajúcich na substrát, čím sa znížila teplota potrebná na tvorbu kryštalických vrstiev. V práci sa hľadajú optimálne podmienky na depozíciu vzhľadom k maximalizácii toku iónov na substrát a stabilitu procesu. Pri týchto podmienkach sa skúma vplyv predpätia a vyhrievania substrátu na zloženie a vlastnosti vrstiev. Pomocou röntgenovej difrakcie sa skúma kryštálová štruktúra pripravených vrstiev. Metódou EDX sa určuje vplyv predpätia na chemické zloženie. Rozdiely medzi štruktúrou povrchu kryštalických a amorfných vrstiev sa skúmajú elektrónovým rastrovacím mikroskopom. Taktiež sa skúma vplyv zvýšenej teploty a použitého predpätia na mechanické vlastnosti vrstiev.  |% cze 
520 2 9 |a This work concentrates on the preparation and diagnosis of Mo₂BC thin films prepared by simultaneous magnetron sputtering from three targets. Pusled DC plasma was used, which increased the number of ions impacting on the substrate. That reduced the temperature required for the formation of crystalline coatings. In this work, the optimal deposition conditions with focus on the ion flux to the substrate and the stability of the process are sought. Under these conditions, we examine the effect of bias voltage and the heating of the substrate on the composition and properties of the coatings. Using X-ray diffraction, we examine the crystalline structure of prepared thin films. EDX was used to determine the influence of the bias on the chemical composition. The differences between the structure of the surface structure of a crystalline and an amorphous coating are examined by scanning electron microscopy.  |9 eng 
650 0 7 |a depozice tenkých vrstev  |7 ph541607  |2 czenas 
650 0 7 |a tenké vrstvy  |7 ph126536  |2 czenas 
650 0 9 |a thin film deposition  |2 eczenas 
650 0 9 |a thin films  |2 eczenas 
655 7 |a bakalářské práce  |7 fd132403  |2 czenas 
655 9 |a bachelor's theses  |2 eczenas 
658 |a Aplikovaná fyzika  |b Nanotechnologie - aplikovaná fyzika  |c PřF B-AF NAN (NAN)  |2 CZ-BrMU 
700 1 |a Souček, Pavel,  |d 1986-  |7 mub2017974130  |% UČO 175085  |4 ths 
710 2 |a Masarykova univerzita.  |b Ústav fyzikální elektroniky  |7 xx0116219  |4 dgg 
856 4 1 |u http://is.muni.cz/th/408573/prif_b/ 
CAT |c 20150625  |l MUB01  |h 0421 
CAT |a RACLAVSKA  |b 02  |c 20150730  |l MUB01  |h 1110 
CAT |c 20150901  |l MUB01  |h 1453 
CAT |a RACLAVSKA  |b 02  |c 20150908  |l MUB01  |h 1122 
CAT |a RACLAVSKA  |b 02  |c 20150908  |l MUB01  |h 1123 
CAT |a JANA  |b 02  |c 20150909  |l MUB01  |h 1158 
CAT |c 20150921  |l MUB01  |h 1414 
CAT |a BATCH  |b 00  |c 20151226  |l MUB01  |h 0548 
CAT |c 20160303  |l MUB01  |h 1234 
CAT |c 20160308  |l MUB01  |h 1506 
CAT |c 20160309  |l MUB01  |h 1108 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20171206  |l MUB01  |h 1443 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20180918  |l MUB01  |h 1318 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20190107  |l MUB01  |h 0117 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20190522  |l MUB01  |h 0748 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20191211  |l MUB01  |h 1018 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20200323  |l MUB01  |h 2339 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20201101  |l MUB01  |h 0053 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20201126  |l MUB01  |h 0114 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20210218  |l MUB01  |h 2357 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20210218  |l MUB01  |h 2358 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20210218  |l MUB01  |h 2358 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20210218  |l MUB01  |h 2359 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20210219  |l MUB01  |h 0000 
CAT |c 20210614  |l MUB01  |h 1015 
CAT |c 20210614  |l MUB01  |h 2002 
CAT |a BATCH  |b 00  |c 20210724  |l MUB01  |h 1238 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20221014  |l MUB01  |h 1924 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20221014  |l MUB01  |h 1925 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20230808  |l MUB01  |h 2144 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20231009  |l MUB01  |h 2139 
LOW |a POSLANO DO SKCR  |b 2016-03-09 
994 - 1 |l MUB01  |l MUB01  |m VYSPR  |1 PRIF  |a Přírodovědecká fakulta  |2 PRVFY  |b ÚK volný výběr - F  |3 K-F-2015-DEBN  |5 3145365088  |8 20150730  |f 70  |f Prezenční  |q 20180809  |r 20150721  |s dar 
AVA |a SCI50  |b PRIF  |c ÚK volný výběr - F  |d K-F-2015-DEBN  |e available  |t K dispozici  |f 1  |g 0  |h N  |i 0  |j PRVFY 

Podobné jednotky