Zpětnovazební řízení reaktivního magnetronového naprašování zařízením Speedflo
Táto práca je venovaná štúdiu riadenia a teoretického modelovania procesu reaktívneho magnetrónového naprašovania. Opísané sú tu fyzikálne princípy samotného magnetrónového naprašovania ako aj hysterézne správanie pri pripustení reaktívneho plynu. Je tu prezentované a podrobne otestované komerčne po...
Uloženo v:
| Hlavní autor: | |
|---|---|
| Další autoři: | |
| Typ dokumentu: | VŠ práce nebo rukopis |
| Jazyk: | Slovenština |
| Vydáno: |
2012
|
| Témata: | |
| On-line přístup: | http://is.muni.cz/th/269740/prif_m/ |
| LEADER | 04940ctm a22009017a 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | MUB01000721532 | ||
| 003 | CZ BrMU | ||
| 005 | 20120831084540.0 | ||
| 008 | 120628s2012 xr ||||| |||||||||||slo d | ||
| STA | |a POSLANO DO SKCR |b 2020-05-07 | ||
| 035 | |a (ISMU-VSKP)207572 | ||
| 040 | |a BOD114 |b cze |d BOD004 | ||
| 072 | 7 | |a 621 |x Strojírenství |2 Konspekt |9 19 | |
| 080 | |a 621.793 |2 MRF | ||
| 080 | |a 621.793/.795 |2 MRF | ||
| 100 | 1 | |a Klein, Peter |% UČO 269740 |* [absolvent PřírF MU] |4 dis | |
| 242 | 1 | 0 | |a Feedback system to control reactive magnetron sputtering |y eng |
| 245 | 1 | 0 | |a Zpětnovazební řízení reaktivního magnetronového naprašování zařízením Speedflo |h [rukopis] / |c Peter Klein |
| 260 | |c 2012 | ||
| 300 | |a 49 l. | ||
| 500 | |a Vedoucí práce: Petr Vašina | ||
| 502 | |a Diplomová práce (Mgr.)--Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakulta, 2012 | ||
| 520 | 2 | |a Táto práca je venovaná štúdiu riadenia a teoretického modelovania procesu reaktívneho magnetrónového naprašovania. Opísané sú tu fyzikálne princípy samotného magnetrónového naprašovania ako aj hysterézne správanie pri pripustení reaktívneho plynu. Je tu prezentované a podrobne otestované komerčne používané zariadenie Speedflo, ktoré umožňuje spätnoväzobné riadenie takéhoto procesu. Pri rôzne definovaných parametroch a podmienkach sú experimentálne overené schopnosti tohto zariadenia riadiť proces reaktívneho magnetrónového naprašovania. Je tu popísaný upravený numerický model vychádzajúci pôvodne z Bergovho modelu. |% cze | |
| 520 | 2 | 9 | |a This work is dedicated to the study of control and theoretical modeling of reactive magnetron sputtering process. Physical properties of magnetron sputtering and hysteresis behavior by inlet of reactive gas are described. Commercially used device Speedflo, which is able to feedback control this process, is presented and tested in detail. The abilities to control process of reactive magnetron sputtering by this device using different parameters and under different circumstances are experimentally measured. Modified numerical model based on Bergs model is described. |9 eng |
| 650 | 0 | 7 | |a depozice tenkých vrstev |7 ph541607 |2 czenas |
| 650 | 0 | 7 | |a povrchové úpravy materiálů |7 ph124452 |2 czenas |
| 650 | 0 | 9 | |a finishes and finishing |2 eczenas |
| 650 | 0 | 9 | |a surface finishing |2 eczenas |
| 650 | 0 | 9 | |a thin film deposition |2 eczenas |
| 650 | 0 | 9 | |a thin film depozition |2 eczenas |
| 655 | 7 | |a diplomové práce |7 fd132022 |2 czenas | |
| 658 | |a Fyzika |b Fyzika plazmatu |c PřF N-FY PLAZ (PLAZ) |2 CZ-BrMU | ||
| 700 | 1 | |a Vašina, Petr, |d 1979- |7 mub2011669170 |% UČO 21782 |4 ths | |
| 710 | 2 | |a Masarykova univerzita. |b Ústav fyzikální elektroniky |7 xx0116219 |4 dgg | |
| 856 | 4 | 1 | |u http://is.muni.cz/th/269740/prif_m/ |
| CAT | |c 20120628 |l MUB01 |h 0421 | ||
| CAT | |a HANAV |b 02 |c 20120718 |l MUB01 |h 1502 | ||
| CAT | |a RACLAVSKA |b 02 |c 20120720 |l MUB01 |h 1409 | ||
| CAT | |a NOVAKOVA |b 02 |c 20120831 |l MUB01 |h 0845 | ||
| CAT | |a BATCH |b 00 |c 20130304 |l MUB01 |h 1433 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20131217 |l MUB01 |h 1351 | ||
| CAT | |c 20140127 |l MUB01 |h 1919 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20140527 |l MUB01 |h 0743 | ||
| CAT | |c 20140911 |l MUB01 |h 1610 | ||
| CAT | |c 20140912 |l MUB01 |h 1104 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20141113 |l MUB01 |h 0712 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20141210 |l MUB01 |h 0807 | ||
| CAT | |c 20150703 |l MUB01 |h 1206 | ||
| CAT | |c 20150901 |l MUB01 |h 1449 | ||
| CAT | |c 20150921 |l MUB01 |h 1410 | ||
| CAT | |a BATCH |b 00 |c 20151226 |l MUB01 |h 0244 | ||
| CAT | |a HANAV |b 02 |c 20170829 |l MUB01 |h 0009 | ||
| CAT | |a HANAV |b 02 |c 20170925 |l MUB01 |h 1626 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20180918 |l MUB01 |h 1318 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20190107 |l MUB01 |h 0116 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20190522 |l MUB01 |h 0748 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20191211 |l MUB01 |h 1017 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20200323 |l MUB01 |h 2339 | ||
| CAT | |c 20200507 |l MUB01 |h 1114 | ||
| CAT | |a FUKSOVAX |b 02 |c 20201027 |l MUB01 |h 1201 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20201101 |l MUB01 |h 0053 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20201126 |l MUB01 |h 0114 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20210218 |l MUB01 |h 2357 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20210218 |l MUB01 |h 2358 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20210218 |l MUB01 |h 2358 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20210218 |l MUB01 |h 2358 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20210218 |l MUB01 |h 2359 | ||
| CAT | |c 20210614 |l MUB01 |h 0959 | ||
| CAT | |c 20210614 |l MUB01 |h 1948 | ||
| CAT | |a BATCH |b 00 |c 20210724 |l MUB01 |h 1214 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20221014 |l MUB01 |h 1924 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20221014 |l MUB01 |h 1925 | ||
| CAT | |a FUKSOVAX |b 02 |c 20230712 |l MUB01 |h 1121 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20230808 |l MUB01 |h 2144 | ||
| LOW | |a POSLANO DO SKCR |b 2020-05-07 | ||
| 994 | - | 1 | |l MUB01 |l MUB01 |m VYSPR |1 PRIF |a Přírodovědecká fakulta |2 PRSFY |b ÚK sklad - F |3 K-12760 |5 3145355479 |8 20120720 |f 71 |f Prezenční SKLAD |q 20180809 |r 20120720 |s dar |
| AVA | |a SCI50 |b PRIF |c ÚK sklad - F |d K-12760 |e available |t K dispozici |f 1 |g 0 |h N |i 0 |j PRSFY | ||