Zpětnovazební řízení reaktivního magnetronového naprašování zařízením Speedflo
Táto práca je venovaná štúdiu riadenia a teoretického modelovania procesu reaktívneho magnetrónového naprašovania. Opísané sú tu fyzikálne princípy samotného magnetrónového naprašovania ako aj hysterézne správanie pri pripustení reaktívneho plynu. Je tu prezentované a podrobne otestované komerčne po...
Uloženo v:
Hlavní autor: | |
---|---|
Další autoři: | |
Typ dokumentu: | VŠ práce nebo rukopis |
Jazyk: | Slovenština |
Vydáno: |
2012
|
Témata: | |
On-line přístup: | http://is.muni.cz/th/269740/prif_m/ |
Pro rezervaci/výpůjčku fyzického dokumentu se přihlaste.
Popis | Stav | Knihovna | Sbírka | Signatura | Poznámky | Čárový kód |
---|---|---|---|---|---|---|
Dostupné Prezenční SKLAD |
Přírodovědecká fakulta | ÚK sklad - F | K-12760 | 3145355479 |