Mapování dopantu v polovodiči pomocí pomalých elektronů

Práce se zabývá mapováním dopantu v křemíku prostřednictvím detekce emitovaných elektronů v rastrovací a fotoemisní elektronové mikroskopii. Za tímto účelem byly v Laboratoři polovodičů na Masarykově univerzitě vyrobeny testovací struktury s různou koncentrací bóru či fosforu v obrazcích rozmístěnýc...

Celý popis

Uloženo v:
Podrobná bibliografie
Hlavní autor: Hovorka, Miloš (Autor práce)
Další autoři: Frank, Luděk, 1946- (Vedoucí práce)
Typ dokumentu: VŠ práce nebo rukopis
Jazyk:Čeština
Vydáno: 2011
Témata:
On-line přístup:http://is.muni.cz/th/41410/prif_d/
Obálka
Pro rezervaci/výpůjčku fyzického dokumentu se přihlaste.
Popis Stav Knihovna Sbírka Signatura Poznámky Čárový kód
Dostupné
Prezenční SKLAD
Přírodovědecká fakulta ÚK sklad - F K-12664 3145355731