Mapování dopantu v polovodiči pomocí pomalých elektronů - Hovorka, Miloš (2011)
Práce se zabývá mapováním dopantu v křemíku prostřednictvím detekce emitovaných elektronů v rastrovací a fotoemisní elektronové mikroskopii. Za tímto účelem byly v Laboratoři polovodičů na Masarykově univerzitě vyrobeny testovací struktury s různou koncentrací bóru či fosforu v obrazcích rozmístěných na jednom substrátě. Plošné struktury s odstupňovanou koncentrací příměsí umožňují porovnávat výtěžek signálních elektronů z rozdílně dotovaných p(n)-oblastí za shodných experimentálních podmínek v mikroskopu vybaveném katodovou čočkou. P(n)-oblasti na n(p)-substrátě byly zobrazeny v ultravysokovakuovém rastrovacím elektronovém mikroskopu s katodovou čočkou pomocí elektronového svazku s energií dopadu v jednotkách keV až jednotkách eV. Rozdílný výtěžek sekundárních, popř. odražených elektronů vede ke vzniku kontrastu v obraze mezi odlišně dotovanými oblastmi. Velikost a znaménko kontrastu, a tedy i možnost zobrazení a kvantifikace množství příměsí v křemíku, závisí na energii dopadu elekt