Plazmochemická depozice diamantových vrstev v duálním mikrovlnném/vysokofrekvečním výboji
Tato práce se zabývá depozicí ultrananokrystalických diamantových vrstev na křemík, titan a zlato plazmochemickou depozicí z plynné fáze v mikrovlnném plazmovém reaktoru zvonovitého tvaru typu ASTeX, který využívá mikrovlnný (2,45 GHz) a radiofrekvenční (13,56 MHz) výboj. Záporné stejnosměrné samopř...
Uloženo v:
Hlavní autor: | |
---|---|
Další autoři: | |
Typ dokumentu: | VŠ práce nebo rukopis |
Jazyk: | Čeština |
Vydáno: |
2011
|
Témata: | |
On-line přístup: | http://is.muni.cz/th/208123/prif_m/ |
Pro rezervaci/výpůjčku fyzického dokumentu se přihlaste.
Popis | Stav | Knihovna | Sbírka | Signatura | Poznámky | Čárový kód |
---|---|---|---|---|---|---|
Dostupné Prezenční SKLAD |
Přírodovědecká fakulta | ÚK sklad - F | K-12686 | 3145352473 |