Plazmochemická depozice diamantových vrstev v duálním mikrovlnném/vysokofrekvečním výboji - Šperka, Jiří (2011)
Tato práce se zabývá depozicí ultrananokrystalických diamantových vrstev na křemík, titan a zlato plazmochemickou depozicí z plynné fáze v mikrovlnném plazmovém reaktoru zvonovitého tvaru typu ASTeX, který využívá mikrovlnný (2,45 GHz) a radiofrekvenční (13,56 MHz) výboj. Záporné stejnosměrné samopředpětí (metoda BEN), které vzniká díky radiofrekvenčnímu výboji, bylo využito pro počáteční nukleaci diamantu a pro jeho kontinuální renukleaci během depozice, která je nezbytná pro růst ultrananokrystalické diamantové vrstvy. Výchozím plynem byl metan vysoce zředěný ve vodíku, mikrovlnný výkon byl 850 W. Teplota držáku substrátu byla bezkontaktně měřena pomocí pyrometru Raytek. Vrstvy byly charakterizovány pomocí rastrovací elektronové mikroskopie, byla využita také metoda nízkoenergiové elektronové mikroskopie (SLEEM). Ukázalo se, že vyšší harmonické frekvence plazmových oscilací existují také ve vysokém tlaku (jednotky kPa), a že mohou být jako nová diagnostická metoda využity ke studiu d