Vyvážené a nevyvážené magnetického pole pro průmyslový depoziční reaktor Alcatel SCM 650
Tato práce se věnuje studiu vyváženého a nevyváženého magnetického pole v depozičním reaktoru Alcatel SCM 650. První část se zabývá základními fyzikálními principy naprašování a vlivem magnetického pole na nabité částice. Byly studovány možnosti realizace vyváženého a nevyváženého magnetronu, jejich...
Uloženo v:
| Hlavní autor: | |
|---|---|
| Další autoři: | |
| Typ dokumentu: | VŠ práce nebo rukopis |
| Jazyk: | Čeština |
| Vydáno: |
2009.
|
| Témata: | |
| On-line přístup: | http://is.muni.cz/th/211910/prif_b/ |
| LEADER | 04437ctm a22008537a 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | MUB01000590157 | ||
| 003 | CZ BrMU | ||
| 005 | 20090915145330.0 | ||
| 008 | 090704s2009 xr ||||| |||||||||||cze d | ||
| STA | |a POSLANO DO SKCR |b 2018-12-10 | ||
| 035 | |a (ISMU-VSKP)166773 | ||
| 040 | |a BOD114 |b cze |d BOD004 | ||
| 072 | 7 | |a 53 |x Fyzika |2 Konspekt |9 6 | |
| 080 | |a 539.216 |2 MRF | ||
| 080 | |a 53 |2 MRF | ||
| 100 | 1 | |a Hanusová, Jana |% UČO 211910 |* [absolvent PřírF MU] |4 dis | |
| 242 | 1 | 0 | |a Balanced and unbalanced magnetics for industrial deposition reactor Alcatel SCM 650 |y eng |
| 245 | 1 | 0 | |a Vyvážené a nevyvážené magnetického pole pro průmyslový depoziční reaktor Alcatel SCM 650 |h [rukopis] / |c Jana Hanusová. |
| 260 | |c 2009. | ||
| 300 | |a 45 l. | ||
| 500 | |a Vedoucí práce: Petr Vašina. | ||
| 502 | |a Bakalářská práce (Bc.)--Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakulta, 2009. | ||
| 520 | 2 | |a Tato práce se věnuje studiu vyváženého a nevyváženého magnetického pole v depozičním reaktoru Alcatel SCM 650. První část se zabývá základními fyzikálními principy naprašování a vlivem magnetického pole na nabité částice. Byly studovány možnosti realizace vyváženého a nevyváženého magnetronu, jejich vliv na celý depoziční proces. Ve druhé části je popsán způsob měření a klasifikace magnetických polí. Byl diskutován význam nulového bodu. |% cze | |
| 520 | 2 | 9 | |a This work is dedicated to studying of balanced and unbalanced magnetic fields in a deposition reactor Alcatel SCM 650. The first part is concerned with basic physical principles of sputtering and effects of magnetic field on charged particle. Possibilities of realization of a balanced and an unbalanced magnetron were studied, their effect on a whole deposition process. An importance of a null-point was discussed. |9 eng |
| 655 | 7 | |a bakalářské práce |7 fd132403 |2 czenas | |
| 658 | |a Fyzika |b Fyzika |c PřF B-FY FYZ (FYZ) |2 CZ-BrMU | ||
| 700 | 1 | |a Vašina, Petr, |d 1979- |7 mub2011669170 |% UČO 21782 |4 ths | |
| 710 | 2 | |a Masarykova univerzita. |b Přírodovědecká fakulta. |b Fyzikální sekce |7 kn20020321517 |4 dgg | |
| 856 | 4 | 1 | |u http://is.muni.cz/th/211910/prif_b/ |
| CAT | |c 20090704 |l MUB01 |h 0452 | ||
| CAT | |a DRIMLOVA |b 02 |c 20090825 |l MUB01 |h 0700 | ||
| CAT | |a NOVAKOVA |b 02 |c 20090915 |l MUB01 |h 1453 | ||
| CAT | |a BATCH-UPD |b 02 |c 20091102 |l MUB01 |h 0716 | ||
| CAT | |a BATCH-UPD |b 02 |c 20091103 |l MUB01 |h 0211 | ||
| CAT | |c 20091203 |l MUB01 |h 0233 | ||
| CAT | |c 20091203 |l MUB01 |h 1916 | ||
| CAT | |a BATCH-UPD |b 00 |c 20091219 |l MUB01 |h 0816 | ||
| CAT | |c 20100428 |l MUB01 |h 1013 | ||
| CAT | |a BATCH-UPD |b 00 |c 20100501 |l MUB01 |h 1216 | ||
| CAT | |a BATCH-UPD |b 00 |c 20100929 |l MUB01 |h 0336 | ||
| CAT | |c 20110627 |l MUB01 |h 1917 | ||
| CAT | |c 20110627 |l MUB01 |h 2326 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20111108 |l MUB01 |h 1243 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20111108 |l MUB01 |h 1244 | ||
| CAT | |a batch |b 00 |c 20120324 |l MUB01 |h 0127 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20120510 |l MUB01 |h 0732 | ||
| CAT | |c 20120610 |l MUB01 |h 1948 | ||
| CAT | |a HANAV |b 02 |c 20120718 |l MUB01 |h 1502 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20120726 |l MUB01 |h 1016 | ||
| CAT | |a BATCH |b 00 |c 20130303 |l MUB01 |h 1113 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20130730 |l MUB01 |h 0745 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20131217 |l MUB01 |h 1351 | ||
| CAT | |c 20150901 |l MUB01 |h 1444 | ||
| CAT | |c 20150921 |l MUB01 |h 1405 | ||
| CAT | |a BATCH |b 00 |c 20151226 |l MUB01 |h 0024 | ||
| CAT | |a HANAV |b 02 |c 20170829 |l MUB01 |h 0009 | ||
| CAT | |a HANAV |b 02 |c 20170925 |l MUB01 |h 1626 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20180826 |l MUB01 |h 1454 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20180826 |l MUB01 |h 1504 | ||
| CAT | |c 20181210 |l MUB01 |h 1131 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20190109 |l MUB01 |h 1226 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20190129 |l MUB01 |h 0937 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20190129 |l MUB01 |h 0941 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20190129 |l MUB01 |h 0952 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20190227 |l MUB01 |h 0752 | ||
| CAT | |a FUKSOVAX |b 02 |c 20201027 |l MUB01 |h 1201 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20201030 |l MUB01 |h 0223 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20210819 |l MUB01 |h 1726 | ||
| CAT | |a FUKSOVAX |b 02 |c 20230712 |l MUB01 |h 1121 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20230808 |l MUB01 |h 2127 | ||
| LOW | |a POSLANO DO SKCR |b 2018-12-10 | ||
| 994 | - | 1 | |l MUB01 |l MUB01 |m VYSPR |1 PRIF |a Přírodovědecká fakulta |2 PRFSK |b ÚK sklad |3 K-9546 |5 3145346312 |8 20090825 |f 71 |f Prezenční SKLAD |q 20180420 |r 20090825 |s dar |
| AVA | |a SCI50 |b PRIF |c ÚK sklad |d K-9546 |e available |t K dispozici |f 1 |g 0 |h N |i 0 |j PRFSK | ||