Fundamental principles of optical lithography : the science of microfabrication /
Uloženo v:
| Hlavní autor: | |
|---|---|
| Typ dokumentu: | Kniha |
| Jazyk: | Angličtina |
| Vydáno: |
Chichester, West Sussex ; Hoboken, NJ :
Wiley,
c2007
|
| Témata: |
| Fyzický popis: | xvii, 515 s. : il. |
|---|---|
| ISBN: | 978-0-470-01893-4 978-0-470-72730-0 0-470-01893-3 0-470-72730-6 |