Fundamental principles of optical lithography : the science of microfabrication /
Uloženo v:
| Hlavní autor: | |
|---|---|
| Typ dokumentu: | Kniha |
| Jazyk: | Angličtina |
| Vydáno: |
Chichester, West Sussex ; Hoboken, NJ :
Wiley,
c2007
|
| Témata: |
Pro rezervaci/výpůjčku fyzického dokumentu se přihlaste.
| Popis | Stav | Knihovna | Sbírka | Signatura | Poznámky | Čárový kód |
|---|---|---|---|---|---|---|
|
Dlouhodobá do 2024-10-21 |
Přírodovědecká fakulta | ÚK volný výběr | 537.2-MACK | 3145343311 |