Depozice mikro-a nanokrystalických diamantových vrstev metodou PECVD
Tato práce se zabývá depozicí krystalických diamantových vrstev na křemíkové substráty v mikrovlnném plazmovém reaktoru zvonovitého tvaru typu ASTeX ve směsi metanu s vodíkem. Cílem práce bylo připravit tvrdé, především nanokrystalické, diamantové vrstvy a studovat vliv koncentrace metanu a vliv pře...
Uloženo v:
| Hlavní autor: | |
|---|---|
| Další autoři: | |
| Typ dokumentu: | VŠ práce nebo rukopis |
| Jazyk: | Čeština |
| Vydáno: |
2007.
|
| Témata: | |
| On-line přístup: | http://is.muni.cz/th/77865/prif_m/ |
| LEADER | 06119ctm a22009857a 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | MUB01000508767 | ||
| 003 | CZ BrMU | ||
| 005 | 20150720122525.0 | ||
| 008 | 070622s2007 xr ||||| |||||||||||cze d | ||
| STA | |a POSLANO DO SKCR |b 2014-04-10 | ||
| 035 | |a (ISMU-VSKP)130205 | ||
| 040 | |a BOD114 |b cze |d BOD004 | ||
| 072 | 7 | |a 539 |x Fyzikální stavba hmoty. Jaderná fyzika. Molekulární fyzika |2 Konspekt |9 6 | |
| 080 | |a 539.2/.5 |2 MRF | ||
| 080 | |a 539.216 |2 MRF | ||
| 080 | |a 539 |2 MRF | ||
| 100 | 1 | |a Karásková, Monika |% UČO 77865 |* [absolvent PřírF MU] |4 dis | |
| 242 | 1 | 0 | |a Deposition of micro- and nanocrystalline diamond films by PECVD |y eng |
| 245 | 1 | 0 | |a Depozice mikro-a nanokrystalických diamantových vrstev metodou PECVD |h [rukopis] / |c Monika Karásková |
| 260 | |c 2007. | ||
| 300 | |a 80 l. | ||
| 500 | |a Vedoucí práce: Lenka Zajíčková. | ||
| 502 | |a Diplomová práce (Mgr.)--Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakulta, 2007. | ||
| 520 | 2 | |a Tato práce se zabývá depozicí krystalických diamantových vrstev na křemíkové substráty v mikrovlnném plazmovém reaktoru zvonovitého tvaru typu ASTeX ve směsi metanu s vodíkem. Cílem práce bylo připravit tvrdé, především nanokrystalické, diamantové vrstvy a studovat vliv koncentrace metanu a vliv předehřátí substrátu na vlastnosti vrstev. Vrstvy byly deponovány při tlaku 7,5kPa, teplotě substrátu 800 až 950C a mikrovlnném výkonu 900 až 950W. Koncentrace metanu v plynné směsi se pohybovala v rozmezí 2% až 9,4%. Pro nukleaci diamantové vrstvy na křemíkovém substrátu byla použita metoda využívající aktivaci substrátu pomocí energetických iontů urychlených stejnosměrným předpětím (metoda BEN). Na držák substrátu bylo proto přivedeno vysokofrekvenční napětí a díky vlastnostem kapacitně vázaného vysokofrekvenčního výboje se zde zároveň vytvořilo stejnosměrné samopředpětí. Vrstvy byly charakterizovány hloubkově rozlišenou vtiskovou technikou, rastrovacím elektronovým mikroskopem (SEM), mikros. |% cze | |
| 520 | 2 | 9 | |a The present diploma thesis deals with the deposition of crystalline diamond films on silicon substrates in microwave bell jar plasma reactor of ASTeX type in methane/hydrogen gas feed. The goal of the thesis was a preparation of hard nanocrystalline diamond films and studying an influence of a methane concentration and a substrate preheating on film properties. The deposition conditions were the pressure of 7.5kPa, substrate temperature from 800 to 950C and microwave power 900-950W. The methane concentration in gas feed was varied in the range 2-9.4%. An activation of the silicon substrate for growth of diamond films was performed by ions accelerated in dc electric field using the, so called, bias enhanced nucleation (BEN) method. Radio frequency (rf) voltage was applied to a substrate holder causing a dc self-biasing of the substrate due to the properties of rf capacitely coupled glow discharge. The films were characterized by depth sensing indentation technique, scanning electron mic. |9 eng |
| 650 | 0 | 7 | |a fyzikální vlastnosti materiálů |7 ph392377 |2 czenas |
| 650 | 0 | 7 | |a tenké vrstvy |7 ph126536 |2 czenas |
| 650 | 0 | 9 | |a physical properties of materials |2 eczenas |
| 650 | 0 | 9 | |a thin films |2 eczenas |
| 655 | 7 | |a diplomové práce |7 fd132022 |2 czenas | |
| 658 | |a Fyzika |b Fyzika plazmatu |c PřF N-FY PLAZ (PLAZ) |2 CZ-BrMU | ||
| 700 | 1 | |a Zajíčková, Lenka, |d 1971- |7 mub2011667022 |% UČO 1414 |4 ths | |
| 710 | 2 | |a Masarykova univerzita. |b Přírodovědecká fakulta. |b Fyzikální sekce |7 kn20020321517 |4 dgg | |
| 856 | 4 | 1 | |u http://is.muni.cz/th/77865/prif_m/ |
| CAT | |c 20070622 |l MUB01 |h 0451 | ||
| CAT | |a DRIMLOVA |b 02 |c 20070702 |l MUB01 |h 0758 | ||
| CAT | |c 20071001 |l MUB01 |h 0108 | ||
| CAT | |c 20071003 |l MUB01 |h 2203 | ||
| CAT | |a NOVAKOVA |b 02 |c 20080226 |l MUB01 |h 1210 | ||
| CAT | |c 20080429 |l MUB01 |h 1813 | ||
| CAT | |c 20080429 |l MUB01 |h 1828 | ||
| CAT | |a BATCH-UPD |b 02 |c 20091102 |l MUB01 |h 0606 | ||
| CAT | |a BATCH-UPD |b 02 |c 20091103 |l MUB01 |h 0129 | ||
| CAT | |c 20091203 |l MUB01 |h 0150 | ||
| CAT | |c 20091203 |l MUB01 |h 1834 | ||
| CAT | |a BATCH-UPD |b 00 |c 20091219 |l MUB01 |h 0738 | ||
| CAT | |c 20100428 |l MUB01 |h 1001 | ||
| CAT | |a BATCH-UPD |b 00 |c 20100501 |l MUB01 |h 1131 | ||
| CAT | |a BATCH-UPD |b 00 |c 20100929 |l MUB01 |h 0320 | ||
| CAT | |c 20110627 |l MUB01 |h 1903 | ||
| CAT | |c 20110627 |l MUB01 |h 2311 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20111026 |l MUB01 |h 0949 | ||
| CAT | |a batch |b 00 |c 20120324 |l MUB01 |h 0102 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20120510 |l MUB01 |h 0732 | ||
| CAT | |c 20120610 |l MUB01 |h 1856 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20120726 |l MUB01 |h 1015 | ||
| CAT | |a HANAV |b 02 |c 20121008 |l MUB01 |h 2227 | ||
| CAT | |a BATCH |b 00 |c 20130303 |l MUB01 |h 0904 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20130730 |l MUB01 |h 0744 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20140115 |l MUB01 |h 1227 | ||
| CAT | |c 20140410 |l MUB01 |h 1148 | ||
| CAT | |a FUKSOVAX |b 02 |c 20150720 |l MUB01 |h 1225 | ||
| CAT | |c 20150901 |l MUB01 |h 1436 | ||
| CAT | |c 20150921 |l MUB01 |h 1357 | ||
| CAT | |a HANAV |b 02 |c 20151221 |l MUB01 |h 1056 | ||
| CAT | |a BATCH |b 00 |c 20151225 |l MUB01 |h 2246 | ||
| CAT | |a HANAV |b 02 |c 20160906 |l MUB01 |h 1347 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20180826 |l MUB01 |h 1453 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20180826 |l MUB01 |h 1503 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20190109 |l MUB01 |h 1225 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20190129 |l MUB01 |h 0936 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20190129 |l MUB01 |h 0940 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20190129 |l MUB01 |h 0952 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20190227 |l MUB01 |h 0751 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20201030 |l MUB01 |h 0223 | ||
| CAT | |a VACOVAX |b 02 |c 20201113 |l MUB01 |h 1314 | ||
| CAT | |c 20210614 |l MUB01 |h 0925 | ||
| CAT | |c 20210614 |l MUB01 |h 1914 | ||
| CAT | |a BATCH |b 00 |c 20210724 |l MUB01 |h 1125 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20210819 |l MUB01 |h 1725 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20230808 |l MUB01 |h 2127 | ||
| LOW | |a POSLANO DO SKCR |b 2014-04-10 | ||
| 994 | - | 1 | |l MUB01 |l MUB01 |m VYSPR |1 PRIF |a Přírodovědecká fakulta |2 PRFSK |b ÚK sklad |3 K-9597 |5 3145338027 |8 20070702 |f 71 |f Prezenční SKLAD |q 20180420 |r 20070702 |s dar |
| AVA | |a SCI50 |b PRIF |c ÚK sklad |d K-9597 |e available |t K dispozici |f 1 |g 0 |h N |i 0 |j PRFSK | ||