Depozice mikro-a nanokrystalických diamantových vrstev metodou PECVD - Karásková, Monika (2007)
Tato práce se zabývá depozicí krystalických diamantových vrstev na křemíkové substráty v mikrovlnném plazmovém reaktoru zvonovitého tvaru typu ASTeX ve směsi metanu s vodíkem. Cílem práce bylo připravit tvrdé, především nanokrystalické, diamantové vrstvy a studovat vliv koncentrace metanu a vliv předehřátí substrátu na vlastnosti vrstev. Vrstvy byly deponovány při tlaku 7,5kPa, teplotě substrátu 800 až 950C a mikrovlnném výkonu 900 až 950W. Koncentrace metanu v plynné směsi se pohybovala v rozmezí 2% až 9,4%. Pro nukleaci diamantové vrstvy na křemíkovém substrátu byla použita metoda využívající aktivaci substrátu pomocí energetických iontů urychlených stejnosměrným předpětím (metoda BEN). Na držák substrátu bylo proto přivedeno vysokofrekvenční napětí a díky vlastnostem kapacitně vázaného vysokofrekvenčního výboje se zde zároveň vytvořilo stejnosměrné samopředpětí. Vrstvy byly charakterizovány hloubkově rozlišenou vtiskovou technikou, rastrovacím elektronovým mikroskopem (SEM), mikros.