Depozice mikro-a nanokrystalických diamantových vrstev metodou PECVD
Tato práce se zabývá depozicí krystalických diamantových vrstev na křemíkové substráty v mikrovlnném plazmovém reaktoru zvonovitého tvaru typu ASTeX ve směsi metanu s vodíkem. Cílem práce bylo připravit tvrdé, především nanokrystalické, diamantové vrstvy a studovat vliv koncentrace metanu a vliv pře...
Uloženo v:
Hlavní autor: | |
---|---|
Další autoři: | |
Typ dokumentu: | VŠ práce nebo rukopis |
Jazyk: | Čeština |
Vydáno: |
2007.
|
Témata: | |
On-line přístup: | http://is.muni.cz/th/77865/prif_m/ |
Pro rezervaci/výpůjčku fyzického dokumentu se přihlaste.
Popis | Stav | Knihovna | Sbírka | Signatura | Poznámky | Čárový kód |
---|---|---|---|---|---|---|
Dostupné Prezenční SKLAD |
Přírodovědecká fakulta | ÚK sklad | K-9597 | 3145338027 |