Depozice a charakterizace tvrdých CNx/SiOy vrstev vytvářených v induktivně buzeném plazmatu

Uloženo v:
Podrobná bibliografie
Hlavní autor: Eliáš, Marek (Autor práce)
Další autoři: Janča, Jan, 1938- (Vedoucí práce)
Typ dokumentu: VŠ práce nebo rukopis
Jazyk:Čeština
Vydáno: 2004
Témata:
On-line přístup:Elektronická verze přístupná pouze pro studenty a pracovníky MU
Obálka
Pro rezervaci/výpůjčku fyzického dokumentu se přihlaste.
Popis Stav Knihovna Sbírka Signatura Poznámky Čárový kód
Dostupné
Prezenční SKLAD
Přírodovědecká fakulta ÚK sklad K-4975 3145325760