Depozice a charakterizace tvrdých CNx/SiOy vrstev vytvářených v induktivně buzeném plazmatu

Uloženo v:
Podrobná bibliografie
Hlavní autor: Eliáš, Marek (Autor práce)
Další autoři: Janča, Jan, 1938- (Vedoucí práce)
Typ dokumentu: VŠ práce nebo rukopis
Jazyk:Čeština
Vydáno: 2004
Témata:
On-line přístup:Elektronická verze přístupná pouze pro studenty a pracovníky MU
Obálka
LEADER 02688ctm a22006497a 4500
001 MUB01000405601
003 CZ BrMU
005 20190524075453.0
008 050530s2004 xr ||||| |||||||||||cze d
STA |a POSLANO DO SKCR  |b 2011-03-31 
040 |a BOD004  |b cze  |d BOD004 
080 |a 533.9  |2 MRF 
080 |a (043.3)  |2 MRF 
100 1 |a Eliáš, Marek  |7 mub20181016009  |% UČO 16171  |4 dis 
245 1 0 |a Depozice a charakterizace tvrdých CNx/SiOy vrstev vytvářených v induktivně buzeném plazmatu  |h [rukopis] /  |c Marek Eliáš 
260 |c 2004 
300 |a 84 l. 
500 |a Vedoucí práce: Jan Janča 
502 |a Dizertace (Ph.D.)--Masarykova univerzita v Brně, Přírodovědecká fakulta, 2004 
650 0 7 |a fyzika plazmatu  |7 ph120429  |2 czenas 
650 0 9 |a plasma physics  |2 eczenas 
655 7 |a disertace  |7 fd132024  |2 czenas 
700 1 |a Janča, Jan,  |d 1938-  |7 jk01050790  |% UČO 29  |4 ths 
710 2 |a Masarykova univerzita.  |b Katedra fyzikální elektroniky  |7 olak2007365930  |4 dgg 
856 4 1 |z Elektronická verze přístupná pouze pro studenty a pracovníky MU  |u https://is.muni.cz/auth/th/16171/prif_d/  |% s13788 
CAT |a VASICEK  |b 02  |c 20050530  |l MUB01  |h 0925 
CAT |a MS-650  |b 02  |c 20051101  |l MUB01  |h 2250 
CAT |a MS-6502  |b 02  |c 20051102  |l MUB01  |h 2231 
CAT |c 20070427  |l MUB01  |h 2148 
CAT |c 20080429  |l MUB01  |h 1811 
CAT |c 20080429  |l MUB01  |h 1825 
CAT |c 20080602  |l MUB01  |h 1123 
CAT |c 20080604  |l MUB01  |h 0958 
CAT |c 20091203  |l MUB01  |h 0100 
CAT |c 20091203  |l MUB01  |h 1739 
CAT |a BATCH-UPD  |b 00  |c 20100501  |l MUB01  |h 1029 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20101208  |l MUB01  |h 0855 
CAT |c 20110331  |l MUB01  |h 1024 
CAT |a SIMCIKOVAX  |b 02  |c 20110927  |l MUB01  |h 1117 
CAT |a batch  |b 00  |c 20120324  |l MUB01  |h 0033 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20120919  |l MUB01  |h 0811 
CAT |a BATCH  |b 00  |c 20130303  |l MUB01  |h 0615 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20130926  |l MUB01  |h 1319 
CAT |c 20140127  |l MUB01  |h 1800 
CAT |a HANAV  |b 02  |c 20150811  |l MUB01  |h 1122 
CAT |a BATCH  |b 00  |c 20151224  |l MUB01  |h 1012 
CAT |c 20170301  |l MUB01  |h 1212 
CAT |a HONIGOVA  |b 02  |c 20181123  |l MUB01  |h 0720 
CAT |a HONIGOVA  |b 02  |c 20181123  |l MUB01  |h 0723 
CAT |a KOURILOVA  |b 02  |c 20190524  |l MUB01  |h 0754 
CAT |c 20210614  |l MUB01  |h 0906 
CAT |c 20210614  |l MUB01  |h 1855 
CAT |a BATCH  |b 00  |c 20210724  |l MUB01  |h 1057 
LOW |a POSLANO DO SKCR  |b 2011-03-31 
994 - 1 |l MUB01  |l MUB01  |m BOOK  |1 PRIF  |a Přírodovědecká fakulta  |2 PRFSK  |b ÚK sklad  |3 K-4975  |5 3145325760  |8 20050530  |f 71  |f Prezenční SKLAD  |q 20180416  |r 20050530  |s dar 
AVA |a SCI50  |b PRIF  |c ÚK sklad  |d K-4975  |e available  |t K dispozici  |f 1  |g 0  |h N  |i 0  |j PRFSK