Depozice a charakterizace tvrdých CNx/SiOy vrstev vytvářených v induktivně buzeném plazmatu
Uloženo v:
| Hlavní autor: | |
|---|---|
| Další autoři: | |
| Typ dokumentu: | VŠ práce nebo rukopis |
| Jazyk: | Čeština |
| Vydáno: |
2004
|
| Témata: | |
| On-line přístup: | Elektronická verze přístupná pouze pro studenty a pracovníky MU |
| Popis jednotky: | Vedoucí práce: Jan Janča |
|---|---|
| Fyzický popis: | 84 l. |