Plazmennaja technologija v proizvodstve SBIS /

Uloženo v:
Podrobná bibliografie
Další autoři: Zolotarev, Ju. M. (Překladatel), Judin, Vladimir Vasil‘jevič (Překladatel), Einspruch, Norman G., 1932- (Editor), Brown, Dale M. (Editor)
Typ dokumentu: Kniha
Jazyk:Ruština
Vydáno: Moskva : Mir, 1987.
Témata:
Příbuzné jednotky:Přeloženo z: Plasma processing for VLSI
Obálka
LEADER 02939cam a22007337a 4500
001 MUB01000374050
003 CZ BrMU
005 20060125073235.0
008 950327s1987 ru ||||| |||||||||||rusod
STA |a POSLANO DO SKCR  |b 2010-02-24 
040 |a BOD004  |b cze  |d BOD004 
041 1 |a rus  |h eng 
072 7 |a 533  |x Mechanika plynů. Aeromechanika. Fyzika plazmatu  |2 Konspekt  |9 6 
080 |a 533.9  |2 MRF 
080 |a 533  |2 MRF 
245 0 0 |a Plazmennaja technologija v proizvodstve SBIS /  |c pod redakcijej N. Ajnsprucha i D. Brauna ; perevod s anglijskogo Ju. M. Zolotareva i V.V. Judina pod redakcijej Je. S. Maškovoj. 
260 |a Moskva :  |b Mir,  |c 1987. 
300 |a 469 s. 
504 |a Bibliografie u jednotlivých kapitol. 
650 0 7 |a fyzika plazmatu  |7 ph120429  |2 czenas 
650 0 7 |a plazma (fyzika)  |7 ph215328  |2 czenas 
650 0 9 |a plasma (ionized gases)  |2 eczenas 
650 0 9 |a plasma physics  |2 eczenas 
655 7 |a monografie  |7 fd132842  |2 czenas 
700 1 |a Zolotarev, Ju. M.  |4 trl 
700 1 |a Judin, Vladimir Vasil‘jevič  |4 trl 
700 1 |a Maškova, Jevgenija Sergejevna  |4 red 
700 1 |a Einspruch, Norman G.,  |d 1932-  |7 xx0052705  |4 edt 
700 1 |a Brown, Dale M.  |4 edt 
765 0 |t Plasma processing for VLSI  |9 Rusky 
CAT |a CONV-PRIF  |b 02  |c 20041229  |l MUB01  |h 1332 
CAT |c 20050122  |l MUB01  |h 1259 
CAT |a CONV-653  |b 02  |c 20050213  |l MUB01  |h 2154 
CAT |a MILON  |b 02  |c 20060125  |l MUB01  |h 0732 
CAT |c 20070427  |l MUB01  |h 2144 
CAT |a BATCH-UPD  |b 02  |c 20080319  |l MUB01  |h 0723 
CAT |a BATCH-UPD  |b 02  |c 20080416  |l MUB01  |h 0612 
CAT |c 20080429  |l MUB01  |h 1810 
CAT |c 20080429  |l MUB01  |h 1824 
CAT |c 20080602  |l MUB01  |h 1122 
CAT |c 20080604  |l MUB01  |h 0957 
CAT |a BATCH-UPD  |b 02  |c 20091102  |l MUB01  |h 0456 
CAT |a BATCH-UPD  |b 02  |c 20091103  |l MUB01  |h 0018 
CAT |c 20091203  |l MUB01  |h 0041 
CAT |c 20091203  |l MUB01  |h 1720 
CAT |a HANAV  |b 02  |c 20091212  |l MUB01  |h 2218 
CAT |a BATCH-UPD  |b 02  |c 20091219  |l MUB01  |h 0652 
CAT |c 20100224  |l MUB01  |h 0948 
CAT |a SIMCIKOVAX  |b 02  |c 20101117  |l MUB01  |h 2020 
CAT |a batch  |b 00  |c 20120324  |l MUB01  |h 0022 
CAT |c 20120610  |l MUB01  |h 1730 
CAT |a BATCH  |b 00  |c 20130303  |l MUB01  |h 0357 
CAT |c 20140127  |l MUB01  |h 1750 
CAT |a ANTLOVAX  |b 02  |c 20140714  |l MUB01  |h 1640 
CAT |c 20150702  |l MUB01  |h 1055 
CAT |a BATCH  |b 00  |c 20151224  |l MUB01  |h 0935 
CAT |c 20210614  |l MUB01  |h 0900 
CAT |c 20210614  |l MUB01  |h 1851 
CAT |a BATCH  |b 00  |c 20210724  |l MUB01  |h 1049 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20230128  |l MUB01  |h 1203 
LOW |a POSLANO DO SKCR  |b 2010-02-24 
994 - 1 |l MUB01  |l MUB01  |m BOOK  |1 PRIF  |a Přírodovědecká fakulta  |2 PRFST  |b ÚK volný výběr  |3 533.9-PLAZ  |6 21-2319-87  |5 3145003091  |4 DPČ: 748/87  |8 20041229  |f 74  |f Měsíční  |q 20180713  |r 20060125  |s kup 
AVA |a SCI50  |b PRIF  |c ÚK volný výběr  |d 533.9-PLAZ  |e available  |t K dispozici  |f 1  |g 0  |h N  |i 1  |j PRFST