Plazmennaja technologija v proizvodstve SBIS /

Uloženo v:
Podrobná bibliografie
Další autoři: Zolotarev, Ju. M. (Překladatel), Judin, Vladimir Vasil‘jevič (Překladatel), Einspruch, Norman G., 1932- (Editor), Brown, Dale M. (Editor)
Typ dokumentu: Kniha
Jazyk:Ruština
Vydáno: Moskva : Mir, 1987.
Témata:
Příbuzné jednotky:Přeloženo z: Plasma processing for VLSI
Obálka
Pro rezervaci/výpůjčku fyzického dokumentu se přihlaste.
Popis Stav Knihovna Sbírka Signatura Poznámky Čárový kód
Dostupné
Měsíční
Přírodovědecká fakulta ÚK volný výběr 533.9-PLAZ 3145003091